Reaktywne rozpylanie magnetronowe oznacza, że gaz reaktywny jest dostarczany w celu reakcji z rozpylanymi cząsteczkami w procesie rozpylania, tworząc warstwę złożoną. Gaz reaktywny może być dostarczany jednocześnie z materiałem docelowym rozpylanego materiału, a także z metalem lub stopem docelowym rozpylanego materiału, tworząc warstwę złożoną o określonym stosunku chemicznym. Charakterystyka reaktywnego rozpylania magnetronowego w celu wytwarzania warstw złożonych to:
(1) Materiały tarczowe stosowane w reaktywnym rozpylaniu magnetronowym (tarcza jedno- lub wielo-pierścieniowa) oraz gazy reakcyjne można łatwo uzyskać w wysokiej czystości, co sprzyja przygotowywaniu filmów złożonych o wysokiej czystości.
(2) W przypadku reaktywnego rozpylania magnetronowego, poprzez dostosowanie parametrów procesu osadzania, można przygotować stosunek chemiczny lub stosunek niechemiczny warstw złożonych, tak aby osiągnąć cel regulacji właściwości warstwy przez dostosowanie jej składu.
(3) Temperatura podłoża na ogół nie jest zbyt wysoka podczas procesu osadzania metodą reaktywnego rozpylania magnetronowego, a proces formowania powłoki zwykle nie wymaga podgrzewania podłoża do bardzo wysokich temperatur, dlatego też istnieje mniej ograniczeń co do materiału podłoża.
(4) Reaktywne rozpylanie magnetronowe nadaje się do przygotowywania jednorodnych cienkich warstw o dużej powierzchni i umożliwia produkcję przemysłową z roczną wydajnością miliona metrów kwadratowych powłoki z jednej maszyny. W wielu przypadkach charakter warstwy można zmienić, po prostu zmieniając stosunek gazu reaktywnego do gazu obojętnego podczas rozpylania. Na przykład, warstwa może być zmieniona z metalowej na półprzewodnikową lub niemetaliczną.
——Ten artykuł maproducent maszyn do powlekania próżniowegoGuangdong Zhenhua zwolniony
Czas publikacji: 31.08.2023