Ìfọ́ magnetron tí ń ṣe àtúnṣe túmọ̀ sí wípé a pèsè gaasi tí ń ṣe àtúnṣe láti ṣe àtúnṣe pẹ̀lú àwọn èròjà tí a ti tàn jáde nígbà tí a bá ń ṣe àtúnṣe láti ṣe àtúnṣe fíìmù àdàpọ̀ kan. Ó lè pèsè gaasi tí ń ṣe àtúnṣe láti ṣe àtúnṣe pẹ̀lú àdàpọ̀ àdàpọ̀ náà ní àkókò kan náà, ó sì tún lè pèsè gaasi tí ń ṣe àtúnṣe láti ṣe àtúnṣe pẹ̀lú irin tí ń ṣe àtúnṣe tàbí alloy target ní àkókò kan náà láti ṣe àtúnṣe fíìmù àdàpọ̀ kan pẹ̀lú ìpíndọ́gba kẹ́míkà kan. Àwọn ànímọ́ ti ìfọ́ magnetron tí ń ṣe àtúnṣe láti ṣe àtúnṣe fíìmù àdàpọ̀ ni:
(1) Àwọn ohun èlò tí a lò fún ìfọ́mọ́ magnetron (ìfọ́mọ́ element kan tàbí ìfọ́mọ́ element pupọ) àti àwọn gáàsì ìfọ́mọ́ rọrùn láti rí ìwẹ̀nùmọ́ gíga, èyí tí ó ṣe ìrànlọ́wọ́ fún ìpèsè àwọn fíìmù ìfọ́mọ́ gíga.
(2) Nínú ìfàsẹ́yìn magnetron sputtering, nípa ṣíṣe àtúnṣe àwọn pàrámítà ìfipamọ́, a lè pèsè ìpíndọ́gba kẹ́míkà tàbí ìpíndọ́gba tí kìí ṣe kẹ́míkà ti àwọn fíìmù oníṣọ̀kan, kí a baà lè ṣàṣeyọrí ète ṣíṣàkóso àwọn ànímọ́ fíìmù nípa ṣíṣe àtúnṣe ìṣètò fíìmù náà.
(3) Iwọn otutu ti substrate ko ga ju lakoko ilana idabobo magnetron sputtering reactive, ati ilana dida fiimu ko nilo ki a gbona substrate si awọn iwọn otutu giga pupọ, nitorinaa awọn ihamọ diẹ wa lori ohun elo substrate.
(4) Ìfọ́mọ́ magnetron tó ń ṣe àtúnṣe dára fún ṣíṣe àwọn fíìmù tín-tìn-tín tó dọ́gba ní agbègbè ńlá, ó sì lè ṣe àṣeyọrí iṣẹ́-ajé pẹ̀lú ìṣẹ̀dá tó tó mílíọ̀nù kan ní ìlọ́sọ̀ọ́sẹ̀ ti ìbòrí láti inú ẹ̀rọ kan ṣoṣo. Ní ọ̀pọ̀lọpọ̀ ìgbà, a lè yí ìrísí fíìmù náà padà nípa yíyí ìpíndọ́gba gaasi tó ń ṣe àtúnṣe sí gaasi aláìṣiṣẹ́ nígbà tí a bá ń ṣe àtúnṣe. Fún àpẹẹrẹ, a lè yí fíìmù náà padà láti irin sí semiconductor tàbí kìí ṣe irin.
——Àpilẹ̀kọ yìí níẹrọ fifọ ideri igbaleGuangdong Zhenhua ti tu silẹ
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹjọ-31-2023