Reactive magnetron sputtering txhais tau hais tias cov roj reactive tau muab los ua kom cov tshuaj tiv thaiv nrog cov khoom tawg hauv cov txheej txheem ntawm sputtering los tsim cov yeeb yaj kiab sib xyaw. Nws tuaj yeem muab cov roj reactive los ua kom cov tshuaj tiv thaiv nrog lub hom phiaj sib xyaw sputtering tib lub sijhawm, thiab tseem tuaj yeem muab cov roj reactive los ua kom cov tshuaj tiv thaiv nrog cov hlau lossis cov hlau sib xyaw tib lub sijhawm los npaj cov yeeb yaj kiab sib xyaw nrog cov tshuaj sib piv. Cov yam ntxwv ntawm reactive magnetron sputtering los npaj cov yeeb yaj kiab sib xyaw yog:
(1) Cov ntaub ntawv siv rau kev sib xyaw magnetron sputtering (ib lub hom phiaj lossis ntau lub hom phiaj) thiab cov pa roj ua haujlwm yooj yim kom tau txais kev ntshiab siab, uas yog qhov zoo rau kev npaj cov yeeb yaj kiab sib xyaw ua ke siab.
(2) Hauv kev siv tshuaj magnetron sputtering, los ntawm kev kho cov txheej txheem tso dej, cov tshuaj sib piv lossis cov tshuaj tsis sib piv ntawm cov yeeb yaj kiab sib xyaw tuaj yeem npaj tau, yog li ua tiav lub hom phiaj ntawm kev tswj cov yam ntxwv ntawm zaj duab xis los ntawm kev kho cov khoom sib xyaw ntawm zaj duab xis.
(3) Qhov kub ntawm lub substrate feem ntau tsis siab dhau thaum lub sijhawm ua cov txheej txheem reactive magnetron sputtering deposition, thiab cov txheej txheem tsim zaj duab xis feem ntau tsis tas yuav tsum tau cua sov lub substrate rau qhov kub siab heev, yog li muaj tsawg dua kev txwv rau cov khoom siv substrate.
(4) Reactive magnetron sputtering yog qhov tsim nyog rau kev npaj cov yeeb yaj kiab nyias nyias uas loj, thiab tuaj yeem ua tiav kev tsim khoom lag luam nrog cov khoom tsim tawm txhua xyoo ntawm ib lab square meters ntawm txheej los ntawm ib lub tshuab. Hauv ntau qhov xwm txheej, qhov xwm txheej ntawm zaj duab xis tuaj yeem hloov pauv los ntawm kev hloov pauv qhov piv ntawm cov roj reactive rau cov roj inert thaum lub sijhawm sputtering. Piv txwv li, zaj duab xis tuaj yeem hloov pauv los ntawm hlau mus rau semiconductor lossis tsis yog hlau.
—— Tsab xov xwm no muajlub tshuab nqus tsev txheej tshuab chaw tsim khoomGuangdong Zhenhua tso tawm
Lub sijhawm tshaj tawm: Lub Yim Hli-31-2023