Ịkpọpụta magnetron nke na-emegharị ahụ pụtara na a na-enye gas na-emegharị ahụ iji meghachi omume na ihe ndị a na-agbapụta n'oge a na-agbapụta iji mepụta ihe nkiri ngwakọta. Ọ nwere ike inye gas na-emegharị ahụ iji meghachi omume na ihe mgbaru ọsọ nke ihe na-agbapụta ahụ n'otu oge, ma nwee ike inye gas na-emegharị ahụ iji meghachi omume na ihe mgbaru ọsọ nke ihe na-agbapụta ahụ ma ọ bụ ihe mgbaru ọsọ alloy n'otu oge iji kwadebe ihe nkiri ngwakọta nwere oke kemịkalụ enyere. Àgwà nke ịdọpụ magnetron iji kwadebe ihe nkiri mejupụtara bụ:
(1) Ihe ndị e ji eme ihe maka ihe ndọta magnetron (ihe e ji eme ihe ma ọ bụ ihe e ji eme ihe) na gas mmeghachi omume dị mfe inweta ịdị ọcha dị elu, nke na-eme ka nkwadebe nke ihe nkiri mejupụtara ihe dị elu dị ọcha.
(2) Na mmeghachi omume magnetron sputtering, site na ịgbanwe paramita usoro nkwụnye ego, enwere ike ịkwadebe oke kemịkalụ ma ọ bụ oke nke ihe nkiri mejupụtara, ka e wee mezuo ebumnuche nke ịchịkwa njirimara ihe nkiri ahụ site na ịgbanwe nhazi nke ihe nkiri ahụ.
(3) Okpomọkụ nke ihe mkpuchi ahụ anaghị adị oke elu n'oge usoro ntinye ihe na-emegharị magnetron, usoro nhazi ihe nkiri anaghị achọ ka a kpoo ihe mkpuchi ahụ ọkụ ruo oke okpomọkụ, yabụ enwere obere mmachi na ihe mkpuchi ahụ.
(4) Ịkpọpụ ihe ndọta magnetron nke na-emegharị ahụ dabara adaba maka nkwadebe nke ihe nkiri dị gịrịgịrị buru ibu, ọ nwekwara ike imepụta mmepụta ụlọ ọrụ mmepụta ihe site na mmepụta kwa afọ nke otu nde square mita mkpuchi site na otu igwe. N'ọtụtụ oge, enwere ike ịgbanwe ọdịdị ihe nkiri ahụ site na ịgbanwe oke gas na-emegharị ahụ na gas na-adịghị arụ ọrụ n'oge a na-agbapụta ihe. Dịka ọmụmaatụ, enwere ike ịgbanwe ihe nkiri ahụ site na ígwè gaa na semiconductor ma ọ bụ nke na-abụghị metal.
——Isiokwu a nwereigwe mkpuchi igwe emeputa ihe mkpuchiGuangdong Zhenhua wepụtara
Oge ozi: Ọgọst-31-2023