Пошидани магнетронии реактивӣ маънои онро дорад, ки гази реактивӣ барои реаксия бо зарраҳои пошидашуда дар раванди пошидани он барои ҳосил кардани плёнкаи мураккаб дода мешавад. Он метавонад гази реактивиро барои реаксия бо ҳадафи пайвастагии пошидани он дар як вақт таъмин кунад ва инчунин метавонад гази реактивиро барои реаксия бо ҳадафи металлӣ ё хӯлаи пошидани он дар як вақт таъмин кунад, то плёнкаи пайвастагиро бо таносуби муайяни кимиёвӣ омода кунад. Хусусиятҳои пошидани магнетронии реактивӣ барои тайёр кардани плёнкаҳои мураккаб инҳоянд:
(1) Маводҳои ҳадафе, ки барои пошидани реактивии магнетронӣ (ҳадафи якуним ё бисёруним) ва газҳои реаксия истифода мешаванд, ба осонӣ тозагии баланд ба даст меоранд, ки барои тайёр кардани плёнкаҳои пайвастагии тозагии баланд мусоидат мекунад.
(2) Дар пошидани реактивии магнетронӣ, бо роҳи танзим кардани параметрҳои раванди таҳшинкунӣ, таносуби кимиёвӣ ё таносуби ғайрикимёвии плёнкаҳои мураккабро метавон омода кард, то ҳадафи танзими хусусиятҳои плёнка тавассути танзими таркиби плёнка ба даст оварда шавад.
(3) Ҳарорати субстрат одатан ҳангоми раванди пошидани реактивии магнетронӣ хеле баланд нест ва раванди ташаккули плёнка одатан гарм кардани субстратро то ҳарорати хеле баланд талаб намекунад, аз ин рӯ, дар маводи субстрат маҳдудиятҳои камтар мавҷуданд.
(4) Пошидани магнетронии реактивӣ барои тайёр кардани плёнкаҳои тунуки якхелаи масоҳати калон мувофиқ аст ва метавонад ба истеҳсоли саноатӣ бо истеҳсоли солонаи як миллион метри мураббаъ пӯшиш аз як дастгоҳ ноил гардад. Дар бисёр мавридҳо, хусусияти плёнкаро метавон танҳо бо тағир додани таносуби гази реактивӣ ба гази инертӣ ҳангоми пошидани плёнка тағйир дод. Масалан, плёнкаро аз металл ба нимноқил ё ғайриметаллӣ иваз кардан мумкин аст.
——Ин мақола дороиистеҳсолкунандаи мошини пӯшонидани вакуумӣГуандун Чжэнхуа озод карда шуд
Вақти нашр: 31 августи соли 2023