Реактивдүү магнетрондук чачыратуу дегенибиз, чачыратуу процессинде чачыраган бөлүкчөлөр менен реакцияга кирип, кошулма пленкасын пайда кылуу үчүн реактивдүү газ берилет дегенди билдирет. Ал бир эле учурда чачыраган кошулма бута менен реакцияга кирүү үчүн реактивдүү газды бере алат, ошондой эле бир эле учурда чачыраган металл же эритме бута менен реакцияга кирүү үчүн реактивдүү газды берип, берилген химиялык катышы бар кошулма пленкасын даярдай алат. Кошулма пленкаларды даярдоо үчүн реактивдүү магнетрондук чачыратуу мүнөздөмөлөрү төмөнкүлөр:
(1) Реактивдүү магнетрондук чачыратуу үчүн колдонулган максаттуу материалдар (бир элементтүү же көп элементтүү максаттуу) жана реакциялык газдар жогорку тазалыкты алуу оңой, бул жогорку тазалыктагы кошулма пленкаларын даярдоого өбөлгө түзөт.
(2) Реактивдүү магнетрондук чачыратуу учурунда, чөктүрүү процессинин параметрлерин тууралоо менен, кошулма пленкалардын химиялык катышын же химиялык эмес катышын даярдоого болот, ошентип пленканын курамын тууралоо менен пленканын мүнөздөмөлөрүн жөнгө салуу максатына жетишүүгө болот.
(3) Реактивдүү магнетрон чачыратуу менен чөктүрүү процессинде субстраттын температурасы, адатта, өтө жогору болбойт жана пленканы түзүү процесси, адатта, субстратты өтө жогорку температурага чейин ысытууну талап кылбайт, андыктан субстрат материалына чектөөлөр азыраак болот.
(4) Реактивдүү магнетрондук чачыратуу чоң аянттагы бир тектүү жука пленкаларды даярдоого ылайыктуу жана бир машинадан жылына бир миллион чарчы метр каптоо өндүрүшү менен өнөр жайлык өндүрүшкө жетише алат. Көп учурларда, чачыратуу учурунда реактивдүү газдын инерттүү газга болгон катышын жөн гана өзгөртүү менен пленканын мүнөзүн өзгөртүүгө болот. Мисалы, пленканы металлдан жарым өткөргүчкө же металл эмеске өзгөртүүгө болот.
——Бул макалада барвакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсүГуандун Чжэнхуа бошотулду
Жарыяланган убактысы: 2023-жылдын 31-августу