Реактив магнетрон сиптерү дигән сүз, сиптерү процессында сиптерелгән кисәкчәләр белән реакциягә кереп, кушылма пленка барлыкка китерү өчен реактив газ бирүне аңлата. Ул бер үк вакытта сиптерүче кушылма максаты белән реакциягә керү өчен реактив газ бирә ала, шулай ук билгеле бер химик нисбәткә ия кушылма пленка әзерләү өчен бер үк вакытта сиптерүче металл яки эретмә максаты белән реакциягә керү өчен реактив газ бирә ала. Кушма пленкалар әзерләү өчен реактив магнетрон сиптерүнең үзенчәлекләре түбәндәгеләр:
(1) Реактив магнетрон сиптерү өчен кулланыла торган максат материаллары (бер элементлы максат яки күп элементлы максат) һәм реакция газлары югары сафлыкка ирешү җиңел, бу югары сафлыклы кушылма пленкалар әзерләү өчен уңайлы.
(2) Реактив магнетрон сиптерүдә, утырту процессы параметрларын көйләү юлы белән, пленка составын көйләү юлы белән пленка үзенчәлекләрен көйләү максатына ирешү өчен, кушылма пленкаларның химик яки химик булмаган нисбәтен әзерләргә мөмкин.
(3) Реактив магнетрон сиптерү процессында субстратның температурасы, гадәттә, артык югары түгел, һәм пленка формалаштыру процессы гадәттә субстратны бик югары температурага кадәр җылытырга кирәкми, шуңа күрә субстрат материалына чикләүләр азрак.
(4) Реактив магнетрон сиптерү зур мәйданлы гомоген юка пленкалар әзерләү өчен яраклы һәм бер машинадан елына бер миллион квадрат метр каплау җитештерү белән сәнәгатьләштерелгән җитештерүгә ирешә ала. Күп очракларда, сиптерү вакытында реактив газның инерт газга нисбәтен үзгәртү юлы белән пленканың характерын үзгәртергә мөмкин. Мәсәлән, пленканы металлдан ярымүткәргечкә яки металл булмаганга үзгәртергә мөмкин.
——Бу мәкаләдә барвакуум каплау машинасы җитештерүчесеГуандун Чжэнхуа чыгарылды
Бастырып чыгару вакыты: 2023 елның 31 августы