Реактив магнетрон цацалт гэдэг нь цацалтын явцад цацагдсан хэсгүүдтэй урвалд орж, нийлмэл хальс үүсгэхийн тулд реактив хий нийлүүлдэг гэсэн үг юм. Энэ нь цацагдсан нийлмэл байтай нэгэн зэрэг урвалд орохын тулд реактив хий нийлүүлж, мөн өгөгдсөн химийн харьцаатай нийлмэл хальс бэлтгэхийн тулд цацагдсан металл эсвэл хайлшийн байтай нэгэн зэрэг урвалд орохын тулд реактив хий нийлүүлж болно. Нийлмэл хальс бэлтгэхийн тулд реактив магнетрон цацалтын шинж чанарууд нь:
(1) Реактив магнетрон цацалтад ашигладаг бай материалууд (дан элементийн бай эсвэл олон элементийн бай) болон урвалын хийнүүд нь өндөр цэвэршилттэй тул өндөр цэвэршилттэй нэгдлүүдийг бэлтгэхэд тохиромжтой.
(2) Реактив магнетрон цацалтын үед тунадасжуулалтын процессын параметрүүдийг тохируулах замаар нэгдлийн хальсны химийн харьцаа эсвэл химийн бус харьцааг бэлтгэж болох бөгөөд ингэснээр хальсны найрлагыг тохируулах замаар хальсны шинж чанарыг зохицуулах зорилгод хүрнэ.
(3) Реактив магнетрон цацах тунадасжуулалтын процессын үед суурь материалын температур ерөнхийдөө хэт өндөр байдаггүй бөгөөд хальс үүсгэх процесс нь ихэвчлэн суурь материалыг маш өндөр температурт халаах шаардлагагүй тул суурь материалд хязгаарлалт бага байдаг.
(4) Реактив магнетрон цацалт нь том талбайтай нэгэн төрлийн нимгэн хальс бэлтгэхэд тохиромжтой бөгөөд нэг машинаас жилд нэг сая хавтгай дөрвөлжин метр бүрхүүл үйлдвэрлэх боломжтой аж үйлдвэрийн үйлдвэрлэлд хүрч чадна. Олон тохиолдолд цацалтын үед урвалд ордог хийн инертийн хийтэй харьцуулсан харьцааг өөрчлөх замаар хальсны мөн чанарыг өөрчилж болно. Жишээлбэл, хальсыг металлаас хагас дамжуулагч эсвэл металл бус болгон өөрчилж болно.
——Энэ нийтлэлд байнавакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгчГуандун Жэнхуа суллагдсан
Нийтэлсэн цаг: 2023 оны 8-р сарын 31