Ho sputtering ha magnetron e arabelang ho bolela hore khase e arabelang e fanoa ho arabela le likaroloana tse sputtering nakong ea ho sputtering ho hlahisa filimi e kopaneng. E ka fana ka khase e arabelang ho arabela le sepheo sa motsoako o sputtering ka nako e le 'ngoe, 'me e ka boela ea fana ka khase e arabelang ho arabela le tšepe e sputtering kapa sepheo sa motsoako ka nako e le 'ngoe ho lokisa filimi e kopaneng ka karolelano e fanoeng ea lik'hemik'hale. Litšobotsi tsa ho sputtering ha magnetron e arabelang ho lokisa lifilimi tse kopaneng ke:
(1) Lisebelisoa tse reretsoeng ho sebelisoa bakeng sa ho sputtering ea magnetron e arabelang (sepheo sa element e le 'ngoe kapa sepheo sa li-element tse ngata) le likhase tsa karabelo li bonolo ho li fumana bohloeki bo phahameng, e leng se thusang ho lokisetsa lifilimi tsa motsoako tse hloekileng haholo.
(2) Ha ho sputtering ea magnetron e arabelang, ka ho fetola liparamente tsa ts'ebetso ea ho beha, karolelano ea lik'hemik'hale kapa karolelano e seng ea lik'hemik'hale ea lifilimi tse kopaneng e ka lokisoa, e le ho fihlela sepheo sa ho laola litšobotsi tsa filimi ka ho fetola sebopeho sa filimi.
(3) Mocheso oa substrate ka kakaretso ha o phahame haholo nakong ea ts'ebetso ea ho beha li-sputtering tsa magnetron tse arabelang, 'me ts'ebetso ea ho etsa filimi hangata ha e hloke hore substrate e futhumatsoe mochesong o phahameng haholo, kahoo ho na le lithibelo tse fokolang holim'a thepa ea substrate.
(4) Ho sputtering ha magnetron e arabelang ho loketse bakeng sa ho lokisa lifilimi tse tšesaane tse hokahaneng sebakeng se seholo, 'me ho ka fihlella tlhahiso ea indasteri ka tlhahiso ea selemo le selemo ea lisekoere-mithara tse milione ea ho penta ho tsoa mochining o le mong. Maemong a mangata, mofuta oa filimi o ka fetoloa ka ho fetola feela karolelano ea khase e arabelang ho khase e sa sebetseng nakong ea ho sputtering. Mohlala, filimi e ka fetoloa ho tloha tšepeng ho ea ho semiconductor kapa e seng tšepe.
——Sehlooho sena se na lemoetsi oa mochini oa ho roala ka vacuum cleanerGuangdong Zhenhua lokolloa
Nako ea poso: Phato-31-2023