రియాక్టివ్ మాగ్నెట్రాన్ స్పట్టరింగ్ అంటే, స్పట్టరింగ్ ప్రక్రియలో స్పట్టర్ చేయబడిన కణాలతో చర్య జరిపి ఒక కాంపౌండ్ ఫిల్మ్ను ఉత్పత్తి చేయడానికి రియాక్టివ్ వాయువును సరఫరా చేయడం. ఇది ఒకే సమయంలో స్పట్టరింగ్ కాంపౌండ్ టార్గెట్తో చర్య జరపడానికి రియాక్టివ్ వాయువును సరఫరా చేయగలదు, మరియు అదే సమయంలో స్పట్టరింగ్ మెటల్ లేదా అల్లాయ్ టార్గెట్తో చర్య జరపడానికి కూడా రియాక్టివ్ వాయువును సరఫరా చేయగలదు, తద్వారా ఒక నిర్దిష్ట రసాయన నిష్పత్తితో కాంపౌండ్ ఫిల్మ్ను తయారు చేయవచ్చు. కాంపౌండ్ ఫిల్మ్లను తయారు చేయడానికి రియాక్టివ్ మాగ్నెట్రాన్ స్పట్టరింగ్ యొక్క లక్షణాలు:
(1) రియాక్టివ్ మాగ్నెట్రాన్ స్పట్టరింగ్ (సింగిల్ ఎలిమెంట్ టార్గెట్ లేదా మల్టీ-ఎలిమెంట్ టార్గెట్) కోసం ఉపయోగించే టార్గెట్ మెటీరియల్స్ మరియు రియాక్షన్ వాయువులు అధిక స్వచ్ఛతను సులభంగా పొందవచ్చు, ఇది అధిక-స్వచ్ఛత కలిగిన కాంపౌండ్ ఫిల్మ్ల తయారీకి అనుకూలంగా ఉంటుంది.
(2) రియాక్టివ్ మాగ్నెట్రాన్ స్పట్టరింగ్లో, డిపాజిషన్ ప్రక్రియ పారామితులను సర్దుబాటు చేయడం ద్వారా, రసాయన నిష్పత్తి లేదా రసాయనేతర నిష్పత్తిలో సమ్మేళన ఫిల్మ్లను తయారు చేయవచ్చు, తద్వారా ఫిల్మ్ కూర్పును సర్దుబాటు చేయడం ద్వారా ఫిల్మ్ లక్షణాలను నియంత్రించే ఉద్దేశ్యాన్ని సాధించవచ్చు.
(3) రియాక్టివ్ మాగ్నెట్రాన్ స్పట్టరింగ్ డిపోజిషన్ ప్రక్రియలో సబ్స్ట్రేట్ ఉష్ణోగ్రత సాధారణంగా చాలా ఎక్కువగా ఉండదు మరియు ఫిల్మ్ ఏర్పడే ప్రక్రియకు సాధారణంగా సబ్స్ట్రేట్ను చాలా అధిక ఉష్ణోగ్రతలకు వేడి చేయవలసిన అవసరం లేదు, కాబట్టి సబ్స్ట్రేట్ పదార్థంపై తక్కువ పరిమితులు ఉంటాయి.
(4) రియాక్టివ్ మాగ్నెట్రాన్ స్పట్టరింగ్ పెద్ద-ప్రాంత సజాతీయ సన్నని పొరల తయారీకి అనుకూలంగా ఉంటుంది మరియు ఒకే యంత్రం నుండి సంవత్సరానికి ఒక మిలియన్ చదరపు మీటర్ల పూత ఉత్పత్తితో పారిశ్రామిక ఉత్పత్తిని సాధించగలదు. చాలా సందర్భాలలో, స్పట్టరింగ్ సమయంలో రియాక్టివ్ గ్యాస్ మరియు ఇనర్ట్ గ్యాస్ నిష్పత్తిని మార్చడం ద్వారా పొర యొక్క స్వభావాన్ని మార్చవచ్చు. ఉదాహరణకు, పొరను లోహం నుండి సెమీకండక్టర్ లేదా అలోహంగా మార్చవచ్చు.
ఈ వ్యాసంలోవాక్యూమ్ కోటింగ్ మెషిన్ తయారీదారుగ్వాంగ్డాంగ్ జెన్హువా విడుదలైంది
పోస్ట్ చేసిన సమయం: ఆగస్టు 31, 2023