Reaktiv magnetronli purkash deganda, purkash jarayonida purkalgan zarrachalar bilan reaksiyaga kirishib, aralash plyonka hosil qilish uchun reaktiv gaz yetkazib beriladi. U bir vaqtning o'zida purkagan aralash nishon bilan reaksiyaga kirishish uchun reaktiv gaz yetkazib berishi mumkin, shuningdek, ma'lum bir kimyoviy nisbatga ega aralash plyonka tayyorlash uchun bir vaqtning o'zida purkagan metall yoki qotishma nishon bilan reaksiyaga kirishish uchun reaktiv gaz yetkazib berishi mumkin. Murakkab plyonkalarni tayyorlash uchun reaktiv magnetronli purkashning xususiyatlari quyidagilar:
(1) Reaktiv magnetronli purkash uchun ishlatiladigan maqsadli materiallar (bitta elementli nishon yoki ko'p elementli nishon) va reaksiya gazlari yuqori tozalikka erishish oson, bu esa yuqori tozalikdagi birikma plyonkalarini tayyorlashga yordam beradi.
(2) Reaktiv magnetronli purkashda, cho'ktirish jarayoni parametrlarini sozlash orqali, plyonka tarkibini sozlash orqali plyonka xususiyatlarini tartibga solish maqsadiga erishish uchun birikma plyonkalarning kimyoviy nisbati yoki kimyoviy bo'lmagan nisbati tayyorlanishi mumkin.
(3) Reaktiv magnetronli purkash cho'ktirish jarayonida substratning harorati odatda juda yuqori emas va plyonka hosil qilish jarayoni odatda substratni juda yuqori haroratgacha qizdirishni talab qilmaydi, shuning uchun substrat materialiga cheklovlar kamroq.
(4) Reaktiv magnetronli purkash katta maydonli bir xil yupqa plyonkalar tayyorlash uchun mos keladi va bitta mashinadan yillik ishlab chiqarish quvvati bir million kvadrat metr bo'lgan sanoatlashtirilgan ishlab chiqarishga erishishi mumkin. Ko'pgina hollarda, purkash paytida reaktiv gazning inert gazga nisbatini o'zgartirish orqali plyonkaning tabiatini o'zgartirish mumkin. Masalan, plyonkani metalldan yarimo'tkazgichga yoki metall bo'lmaganga o'zgartirish mumkin.
——Ushbu maqoladavakuumli qoplama mashinasi ishlab chiqaruvchisiGuangdong Zhenxua ozod qilindi
Nashr vaqti: 2023-yil 31-avgust