Kunyunyizia sumaku tendaji kunamaanisha kuwa gesi tendaji hutolewa ili kuguswa na chembe zilizonyunyiziwa katika mchakato wa kunyunyizia ili kutoa filamu kiwanja. Inaweza kusambaza gesi tendaji ili kuguswa na shabaha ya kiwanja kinachonyunyizia kwa wakati mmoja, na pia inaweza kusambaza gesi tendaji ili kuguswa na shabaha ya chuma kinachonyunyizia au aloi wakati huo huo ili kuandaa filamu kiwanja yenye uwiano fulani wa kemikali. Sifa za kunyunyizia sumaku tendaji ili kuandaa filamu kiwanja ni:
(1) Nyenzo lengwa zinazotumika kwa ajili ya kunyunyizia sumaku tendaji (lengo la kipengele kimoja au lengwa la vipengele vingi) na gesi za mmenyuko ni rahisi kupata usafi wa hali ya juu, jambo linalofaa kwa utayarishaji wa filamu za misombo zenye usafi wa hali ya juu.
(2) Katika unyunyiziaji wa sumaku tendaji, kwa kurekebisha vigezo vya mchakato wa utuaji, uwiano wa kemikali au uwiano usio wa kemikali wa filamu kiwanja unaweza kutayarishwa, ili kufikia lengo la kudhibiti sifa za filamu kwa kurekebisha muundo wa filamu.
(3) Halijoto ya substrate kwa ujumla si kubwa sana wakati wa mchakato wa uwekaji wa sumaku tendaji wa sumaku, na mchakato wa kutengeneza filamu kwa kawaida hauhitaji substrate kupashwa joto hadi joto la juu sana, kwa hivyo kuna vikwazo vichache kwenye nyenzo ya substrate.
(4) Unyunyiziaji wa sumaku tendaji unafaa kwa ajili ya maandalizi ya filamu nyembamba zenye eneo kubwa, na unaweza kufikia uzalishaji wa viwandani kwa kutoa mipako ya kila mwaka ya mita za mraba milioni moja kutoka kwa mashine moja. Mara nyingi, asili ya filamu inaweza kubadilishwa kwa kubadilisha tu uwiano wa gesi tendaji na gesi isiyo na kitu wakati wa unyunyiziaji. Kwa mfano, filamu inaweza kubadilishwa kutoka chuma hadi nusu-semiconductor au isiyo ya chuma.
——Makala hii inamtengenezaji wa mashine ya mipako ya utupuGuangdong Zhenhua iliyotolewa
Muda wa chapisho: Agosti-31-2023