อุปกรณ์นี้ใช้การสะสมไอเคมีเป็นหลักในการเตรียมฟิล์มออกไซด์ ซึ่งมีลักษณะเฉพาะของอัตราการสะสมที่รวดเร็วและคุณภาพของฟิล์มสูง สำหรับโครงสร้างอุปกรณ์ โครงสร้างประตูคู่ใช้เพื่อปรับปรุงประสิทธิภาพการยึด และระบบจ่ายก๊าซเหลวล่าสุดถูกนำมาใช้เพื่อให้แน่ใจว่าการไหลมีเสถียรภาพและควบคุมได้ และรับประกันความเสถียรของกระบวนการได้อย่างมีประสิทธิภาพ ฟิล์มที่เตรียมโดยอุปกรณ์มีค่ากั้นไอน้ำที่ดีและระยะเวลาการทดสอบการเดือดที่เสถียรยาวนานขึ้น
อุปกรณ์นี้สามารถนำไปใช้กับสแตนเลส ฮาร์ดแวร์ชุบไฟฟ้า/ชิ้นส่วนพลาสติก แก้ว เซรามิก และวัสดุอื่นๆ เช่น ผลิตภัณฑ์อิเล็กทรอนิกส์ ลูกปัดไฟ LED อุปกรณ์ทางการแพทย์ และผลิตภัณฑ์อื่นๆ ที่ต้องการความทนทานต่อการเกิดออกซิเดชัน ฟิล์มกั้น SiOx ได้รับการจัดทำขึ้นเพื่อปิดกั้นไอน้ำ ป้องกันการกัดกร่อนและการเกิดออกซิเดชัน และปรับปรุงอายุการใช้งานของผลิตภัณฑ์เป็นหลัก
| รุ่นเสริม | ขนาดห้องด้านใน |
| ซเอชซีวีดี1200 | φ1200*สูง1950(มม.) |