Piranti iki utamane nggunakake deposisi uap kimia kanggo nyiyapake film oksida, sing nduweni ciri tingkat deposisi sing cepet lan kualitas film sing dhuwur. Kanggo struktur piranti, struktur lawang dobel digunakake kanggo ningkatake efisiensi penjepitan, lan sistem pasokan gas cair paling anyar diadopsi kanggo njamin aliran sing stabil lan bisa dikontrol lan kanthi efektif njamin stabilitas proses. Film sing disiapake dening piranti kasebut nduweni alangan uap banyu sing apik lan periode stabil sing luwih suwe ing uji didih.
Piranti iki bisa digunakake ing baja tahan karat, piranti keras/plastik sing dilapisi elektro, kaca, keramik, lan bahan liyane, kayata produk elektronik, manik-manik lampu LED, persediaan medis, lan produk liyane sing mbutuhake tahan oksidasi. Film penghalang SiOx utamane disiapake kanggo mblokir uap banyu kanthi efektif, nyegah korosi lan oksidasi, lan nambah umur produk.
| Model opsional | ukuran kamar njero |
| ZHCVD1200 | φ1200*T1950(mm) |