เทคโนโลยีการเคลือบกระจกแบบทะลุผ่าน TGV: แนวโน้มตลาดและความท้าทายของกระบวนการ

ภาพรวมเทคโนโลยีการเคลือบกระจกแบบทะลุผ่าน TGV อันดับ 1
การเคลือบกระจก TGV ผ่านรู เป็นเทคโนโลยีบรรจุภัณฑ์ไมโครอิเล็กทรอนิกส์ใหม่ที่เกี่ยวข้องกับการสร้างรูทะลุในพื้นผิวกระจกและเคลือบโลหะที่ผนังด้านในเพื่อให้ได้การเชื่อมต่อไฟฟ้าที่มีความหนาแน่นสูง เมื่อเปรียบเทียบกับ TSV (Through Silicon Via) แบบดั้งเดิมและพื้นผิวอินทรีย์ กระจก TGV มีข้อได้เปรียบ เช่น การสูญเสียสัญญาณต่ำ ความโปร่งใสสูง และเสถียรภาพทางความร้อนที่ยอดเยี่ยม คุณสมบัติเหล่านี้ทำให้ TGV เหมาะสำหรับการใช้งานในการสื่อสาร 5G บรรจุภัณฑ์ออปโตอิเล็กทรอนิกส์ เซ็นเซอร์ MEMS และอื่นๆ อีกมากมาย

โอกาสทางการตลาดอันดับที่ 2: เหตุใด TGV Glass จึงได้รับความสนใจ?
ด้วยการพัฒนาอย่างรวดเร็วของการสื่อสารความถี่สูง การผสานรวมออปโตอิเล็กทรอนิกส์ และเทคโนโลยีการบรรจุภัณฑ์ขั้นสูง ความต้องการกระจก TGV จึงเพิ่มขึ้นอย่างต่อเนื่อง:

การสื่อสาร 5G และคลื่นมิลลิเมตร: คุณสมบัติการสูญเสียต่ำของกระจก TGV ทำให้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับอุปกรณ์ RF ความถี่สูง เช่น เสาอากาศและตัวกรอง

บรรจุภัณฑ์ออปโตอิเล็กทรอนิกส์: ความโปร่งใสสูงของกระจกมีข้อได้เปรียบสำหรับการใช้งาน เช่น ซิลิกอนโฟโตนิกส์และ LiDAR

บรรจุภัณฑ์เซ็นเซอร์ MEMS: กระจก TGV ช่วยให้เชื่อมต่อกันได้อย่างหนาแน่น ช่วยเพิ่มประสิทธิภาพการย่อส่วนและประสิทธิภาพของเซ็นเซอร์

บรรจุภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูง: ด้วยการเพิ่มขึ้นของเทคโนโลยี Chiplet พื้นผิวแก้ว TGV จึงมีศักยภาพอย่างมากในบรรจุภัณฑ์ความหนาแน่นสูง

กระบวนการเคลือบ PVD กระจก TGV ขั้นที่ 3
การเคลือบโลหะด้วย PVD Glass TGV เกี่ยวข้องกับการเคลือบวัสดุตัวนำบนผนังด้านในของ vias เพื่อให้เกิดการเชื่อมต่อไฟฟ้า ขั้นตอนทั่วไปประกอบด้วย:

1. การสร้างรูทะลุกระจก TGV: การเจาะด้วยเลเซอร์ (เลเซอร์ UV/CO₂) การแกะสลักแบบเปียก หรือการแกะสลักแบบแห้ง จะใช้เพื่อสร้างรูทะลุกระจก TGV ตามด้วยการทำความสะอาด

2. การบำบัดพื้นผิว: การบำบัดด้วยพลาสม่าหรือสารเคมีจะถูกใช้เพื่อเพิ่มการยึดเกาะระหว่างกระจกและชั้นโลหะ

3. การสะสมชั้นเมล็ดพืช: PVD (การสะสมไอทางกายภาพ) หรือ CVD (การสะสมไอทางเคมี) ใช้ในการสะสมชั้นเมล็ดพืชโลหะ (เช่น ทองแดง ไททาเนียม/ทองแดง แพลเลเดียม) บนผนังรูทะลุกระจก

4. การชุบด้วยไฟฟ้า: ทองแดงตัวนำจะถูกเคลือบบนชั้นเมล็ดพืชผ่านการชุบด้วยไฟฟ้าเพื่อให้ได้การเชื่อมต่อที่มีความต้านทานต่ำ

5. หลังการบำบัด: กำจัดโลหะส่วนเกินออก และทำการทำให้พื้นผิวเป็นเฉื่อยเพื่อเพิ่มความน่าเชื่อถือ

ความท้าทายในกระบวนการที่ 4: ความท้าทายของเครื่องเคลือบรูลึกกระจก TGV

แม้ว่าเครื่องเคลือบรูลึกกระจก TGV จะมีแนวโน้มที่ดี แต่ต้องเผชิญกับความท้าทายทางเทคนิคหลายประการ:

1. ความสม่ำเสมอของการเคลือบรูแก้วแบบลึก TGV: รูแก้วแบบลึกที่มีอัตราส่วนภาพสูง (5:1 ถึง 10:1) มักประสบปัญหาการสะสมของโลหะที่ทางเข้าทางผ่านและมีปริมาณการเติมไม่เพียงพอที่ด้านล่าง

2. การสะสมชั้นเมล็ดพืช: กระจกเป็นฉนวน ทำให้การสะสมชั้นเมล็ดพืชที่มีสภาพนำไฟฟ้าคุณภาพสูงบนผนังผ่านเป็นเรื่องท้าทาย
3. การควบคุมความเครียด: ความแตกต่างในค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวเนื่องจากความร้อนของโลหะและแก้วอาจทำให้เกิดการบิดงอหรือแตกร้าวได้

4. การยึดเกาะของชั้นเคลือบ Glass Deep Hole: พื้นผิวกระจกที่เรียบส่งผลให้การยึดเกาะโลหะอ่อนแรง จึงจำเป็นต้องใช้กระบวนการบำบัดพื้นผิวที่เหมาะสมที่สุด

5. การผลิตจำนวนมากและการควบคุมต้นทุน: การปรับปรุงประสิทธิภาพการโลหะและการลดต้นทุนถือเป็นสิ่งสำคัญสำหรับการนำเทคโนโลยี TGV เข้าสู่เชิงพาณิชย์

โซลูชันอุปกรณ์เคลือบ PVD กระจก TGV ของ Zhenhua Vacuum หมายเลข 5 – เครื่องเคลือบในแนวราบและแนวอินไลน์

ข้อดีของอุปกรณ์:
1. เทคโนโลยีการเคลือบโลหะผ่านรูกระจกแบบพิเศษ
เทคโนโลยีการเคลือบโลหะแบบทะลุผ่านกระจกที่เป็นกรรมสิทธิ์ของ Zhenhua Vacuum สามารถจัดการกับกระจกทะลุผ่านกระจกที่มีอัตราส่วนภาพสูงสุดถึง 10:1 แม้กระทั่งสำหรับช่องรับแสงขนาดเล็กถึง 30 ไมครอน

2. ปรับแต่งได้ตามขนาดที่แตกต่างกัน
รองรับพื้นผิวกระจกหลายขนาด เช่น 600×600 มม. 510×515 มม. หรือใหญ่กว่า

3. ความยืดหยุ่นของกระบวนการ
เข้ากันได้กับวัสดุฟิล์มบางที่มีคุณสมบัติเป็นสื่อไฟฟ้าหรือมีคุณสมบัติ เช่น Cu, Ti, W, Ni และ Pt ตอบสนองข้อกำหนดการใช้งานที่หลากหลายสำหรับคุณสมบัติการนำไฟฟ้าและความต้านทานการกัดกร่อน

4. ประสิทธิภาพการทำงานที่มั่นคงและการบำรุงรักษาที่ง่าย
ติดตั้งระบบควบคุมอัจฉริยะสำหรับการปรับพารามิเตอร์อัตโนมัติและการตรวจสอบความสม่ำเสมอของความหนาของฟิล์มแบบเรียลไทม์ การออกแบบแบบแยกส่วนช่วยให้บำรุงรักษาได้ง่ายและลดเวลาหยุดทำงาน

ขอบเขตการใช้งาน: เหมาะสำหรับการบรรจุภัณฑ์ขั้นสูง TGV/TSV/TMV สามารถเคลือบชั้นเมล็ดพืชแบบทะลุรูด้วยอัตราส่วนความลึกของรู ≥ 10:1

–บทความนี้เผยแพร่โดยผู้ผลิตเครื่องเคลือบกระจกแบบรูทะลุ TGVเจิ้นหัวสูญญากาศ