Ҷойгиршавии буғи химиявии органикии металлӣ (MOCVD), манбаи маводи газӣ гази пайвастагиҳои органикии металлӣ мебошад ва раванди асосии реаксияи таҳшин ба CVD монанд аст.
1.MOCVD гази хом
Манбаи газе, ки барои MOCVD истифода мешавад, гази пайвастагиҳои органикии металлӣ (MOC) мебошад. Пайвастҳои органикии металлӣ пайвастагиҳои устувор мебошанд, ки дар натиҷаи якҷоя кардани моддаҳои органикӣ бо металлҳо ҳосил мешаванд. Пайвастҳои органикӣ алкилӣ, хушбӯй доранд. Ба алкил метил, этил, пропил ва бутил дохил мешаванд. Ба алкил метил, этил, пропил ва бутил дохил мешаванд. Хушбӯй, аз ҷумла гомологҳои фенил, триметил галлий, [Ga(CH3)3], триметил алюминий [Al(CH3)3] барои ҷойгиркунии микроэлектроника, оптоэлектроника, нимноқилҳо дар се, панҷ пайвастагиҳо дар қабати филм, ба монанди Ga(CH)3)3 ва аммиак метавонад дар вафли кремний ё сапфир дар афзоиши эпитаксиалии лампаҳои LED дар қабати люминесцентии InGaN бошад. Чароғҳои LED беш аз волфрам лампаҳои каммасрафи энергия 90% ва зиёда аз 60% лампаҳои флуоресцентии каммасраф мебошанд. Чароғҳои LED нисбат ба лампаҳои лампаҳои волфрам 90% ва нисбат ба лампаҳои флуоресцентӣ 60% сарфакоронатар мебошанд. Дар айни замон, ҳама намуди чароғҳои кӯча, чароғҳои рӯшноӣ ва чароғҳои автомобилӣ асосан аз филмҳои LED-и равшании аз ҷониби MOCVD истеҳсолшуда истифода мешаванд.
2. Ҳарорати таҳшин
Ҳарорати таҷзияи пайвастагиҳои металлҳои органикӣ паст буда, ҳарорати таҳшиншавӣ нисбат ба HCVD пасттар аст. Ҳарорати таҳшинии TiN, ки аз ҷониби MOCVD гузошта шудааст, метавонад тақрибан то 500 дараҷа кам карда шавад.
-Ин мақоларо нашр кардаастистеҳсолкунандаи мошини молидани чангкашакГуандун Чжэнхуа
Вақти фиристодан: октябр-20-2023