Технологияи таҳкими буғи кимиёвии плазмаи сими гарм барои баровардани плазмаи камон, ки ҳамчун технологияи сими гарми PECVD ихтисор карда мешавад, истифода мебарад. Ин технология ба технологияи рӯйпӯшкунии ионҳои ионҳои таппончаи сими гарм монанд аст, аммо фарқият дар он аст, ки филми сахте, ки тавассути рӯйпӯши ионҳои таппончаи камон сими гарм ба даст омадааст, ҷараёни нури электронии камонро барои гарм кардан ва бухор кардани металл дар тигел истифода мебарад, дар ҳоле ки нури сими гарми камон PECVD бо газҳои реаксияи CH4 ва плёнкаҳои H2 истифода мешавад. Бо такя ба ҷараёни разряди камонҳои зичии баланд, ки аз таппончаи камон гарм мебарорад, ионҳои реактивӣ барои ба даст овардани зарраҳои фаъол, аз ҷумла ионҳои газ, ионҳои атомӣ, гурӯҳҳои фаъол ва ғайра ҳаяҷон меоянд.
Дар дастгоҳи сими гарми PECVD, ҳанӯз ҳам берун аз ҳуҷраи пӯшиш ду печи электромагнитӣ насб карда шудааст, ки боиси гардиши ҷараёни электронии зичии баланд дар ҷараёни ҳаракат ба сӯи анод мегардад ва эҳтимолияти бархӯрд ва ионизатсияро байни ҷараёни электрон ва гази реаксия зиёд мекунад. Гӯшти электромагнитӣ инчунин метавонад ба сутуни камон табдил ёбад, то зичии плазмаи тамоми камераи таҳшинкуниро зиёд кунад. Дар плазмаи камон зичии ин заррачахои фаъол баланд буда, ба порчаи кор андохтани плёнкахои алмосй ва дигар кабатхои плёнкаро осон мегардонад.
——Ин маколаро аз тарафи Гуандун Чжэнхуа Технология, аистехсолкунан-даи мошинхои оптикии оптикй.
Вақти фиристодан: 05-05-2023