లోహ సేంద్రీయ రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ

లోహ సేంద్రీయ రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (MOCVD), వాయు పదార్థం యొక్క మూలం లోహ సేంద్రీయ సమ్మేళన వాయువు, మరియు నిక్షేపణ యొక్క ప్రాథమిక ప్రతిచర్య ప్రక్రియ CVD మాదిరిగానే ఉంటుంది.

1.MOCVD ముడి వాయువు

MOCVD కి ఉపయోగించే వాయు మూలం లోహ-సేంద్రీయ సమ్మేళనం (MOC) వాయువు. లోహ-సేంద్రీయ సమ్మేళనాలు సేంద్రీయ పదార్థాలను లోహాలతో కలపడం ద్వారా ఉత్పత్తి చేయబడిన స్థిరమైన సమ్మేళనాలు. సేంద్రీయ సమ్మేళనాలు ఆల్కైల్, సుగంధ ద్రవ్యాలను కలిగి ఉంటాయి. ఆల్కైల్‌లో మిథైల్, ఇథైల్, ప్రొపైల్ మరియు బ్యూటైల్ ఉంటాయి. ఆల్కైల్‌లో మిథైల్, ఇథైల్, ప్రొపైల్ మరియు బ్యూటైల్ ఉంటాయి. ఫినైల్ హోమోలాగ్‌లు, ట్రైమిథైల్ గాలియం, [Ga(CH₃)₃], ట్రైమిథైల్ అల్యూమినియం [Al(CH₃)₃] ఫిల్మ్ పొరలోని మూడు, ఐదు సమ్మేళనాలలో మైక్రోఎలక్ట్రానిక్స్, ఆప్టోఎలక్ట్రానిక్స్, సెమీకండక్టర్ల నిక్షేపణ కోసం, ఉదాహరణకు Ga(CH₃)₃ మరియు అమ్మోనియా InGaN ప్రకాశించే పొరలో LED దీపాల ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదలపై సిలికాన్ వేఫర్ లేదా నీలమణిలో ఉండవచ్చు. LED దీపాలు టంగ్స్టన్ ప్రకాశించే శక్తి-పొదుపు 90% కంటే ఎక్కువ, 60% కంటే ఎక్కువ శక్తిని ఆదా చేసే ఫ్లోరోసెంట్ దీపాలు. LED దీపాలు టంగ్స్టన్ ప్రకాశించే దీపాల కంటే 90% ఎక్కువ శక్తి సామర్థ్యం కలిగి ఉంటాయి మరియు ఫ్లోరోసెంట్ దీపాల కంటే 60% ఎక్కువ శక్తి సామర్థ్యం కలిగి ఉంటాయి. ఈ రోజుల్లో, అన్ని రకాల వీధి దీపాలు, లైటింగ్ దీపాలు మరియు ఆటోమొబైల్ దీపాలు ప్రాథమికంగా MOCVD ఉత్పత్తి చేసే LED కాంతి-ఉద్గార ఫిల్మ్‌లను ఉపయోగిస్తాయి.

2. నిక్షేపణ ఉష్ణోగ్రత

సేంద్రీయ లోహ సమ్మేళనాల కుళ్ళిపోయే ఉష్ణోగ్రత తక్కువగా ఉంటుంది మరియు నిక్షేపణ ఉష్ణోగ్రత HCVD కంటే తక్కువగా ఉంటుంది. MOCVD ద్వారా జమ చేయబడిన TiN నిక్షేపణ ఉష్ణోగ్రతను దాదాపు 500 డిగ్రీలకు తగ్గించవచ్చు.

–ఈ వ్యాసం ప్రచురించినదివాక్యూమ్ కోటింగ్ యంత్ర తయారీదారుగ్వాంగ్‌డాంగ్ జెన్‌హువా