1. இன்சுலேஷன் ஃபிலிமை தெளித்தல் மற்றும் முலாம் பூசுவதற்கு நன்மை பயக்கும். மின்முனை துருவமுனைப்பில் ஏற்படும் விரைவான மாற்றத்தை, இன்சுலேடிங் ஃபிலிம்களைப் பெறுவதற்கு இன்சுலேடிங் இலக்குகளை நேரடியாக ஸ்பட்டர் செய்யப் பயன்படுத்தலாம். ஒரு DC பவர் சோர்ஸ் இன்சுலேஷன் ஃபிலிமை ஸ்பட்டர் செய்து டெபாசிட் செய்யப் பயன்படுத்தினால், இன்சுலேஷன் ஃபிலிம் நேர்மறை அயனிகள் கேத்தோடுக்குள் நுழைவதைத் தடுக்கும், இது ஒரு நேர்மறை அயனி குவிப்பு அடுக்கை உருவாக்கும், இது முறிவு மற்றும் பற்றவைப்புக்கு ஆளாகிறது. அனோடில் ஒரு இன்சுலேடிங் ஃபிலிமை டெபாசிட் செய்த பிறகு, எலக்ட்ரான்கள் அனோடில் நுழைவதைத் தடுக்கின்றன, இதன் விளைவாக அனோட் மறைந்து போகும் நிகழ்வு ஏற்படுகிறது. மின்முனைகளின் மாற்று துருவமுனைப்பு காரணமாக, சுழற்சியின் முதல் பாதியில் கேத்தோடு மீது குவிந்துள்ள நேர்மறை கட்டணங்கள் சுழற்சியின் இரண்டாம் பாதியில் எலக்ட்ரான்களால் நடுநிலையாக்கப்படும், மேலும் அனோடில் குவிந்துள்ள எலக்ட்ரான்கள் நேர்மறை அயனிகளால் நடுநிலையாக்கப்படும். இரண்டாம் பாதி சுழற்சியில் எதிர் செயல்முறை மின்முனையில் உள்ள கட்டணங்களின் திரட்சியை நீக்கும், மேலும் வெளியேற்ற செயல்முறை சாதாரணமாக தொடரலாம்.
2. உயர் அதிர்வெண் மின்முனைகள் சுய சார்பை உருவாக்குகின்றன. தட்டையான மின்முனை அமைப்பைக் கொண்ட RF சாதனத்தில், கொள்ளளவு இணைப்பு பொருத்தத்தைப் பயன்படுத்தி சுற்றுவட்டத்தில் உள்ள உயர் அதிர்வெண் மின்முனைகள் சுய சார்பு மின்னழுத்தத்தை உருவாக்குகின்றன. எலக்ட்ரான் இடம்பெயர்வு வேகத்திற்கும் வெளியேற்றத்தில் அயனி இடம்பெயர்வு வேகத்திற்கும் இடையிலான மிகப்பெரிய வேறுபாடு எலக்ட்ரான்கள் ஒரு குறிப்பிட்ட நேரத்தில் அதிக இயக்க வேகத்தை அடைய உதவுகிறது, அதே நேரத்தில் மெதுவான அயனி வேகம் குவிப்பை ஏற்படுத்துகிறது. உயர் அதிர்வெண் மின்முனை ஒவ்வொரு சுழற்சியின் பெரும்பகுதிக்கும் எதிர்மறை ஆற்றலில் உள்ளது, இதன் விளைவாக நிலப்பரப்பில் எதிர்மறை மின்னழுத்தம் ஏற்படுகிறது, இது உயர் அதிர்வெண் மின்முனையின் சுய சார்பின் நிகழ்வு ஆகும்.
RF வெளியேற்ற மின்முனையால் உருவாக்கப்படும் சுய சார்பு, வெளியேற்ற செயல்முறையை பராமரிக்க இரண்டாம் நிலை எலக்ட்ரான்களை தொடர்ந்து வெளியேற்ற கேத்தோடு மின்முனையின் அயன் குண்டுவீச்சை துரிதப்படுத்துகிறது, மேலும் சுய சார்பு DC பளபளப்பு வெளியேற்றத்தில் கேத்தோடு வீழ்ச்சியைப் போன்ற பங்கை வகிக்கிறது. RF மின்சார விநியோகத்தைப் பயன்படுத்தினாலும், உயர் அதிர்வெண் மின்முனை 500-1000V ஐ அடைவதால் உருவாக்கப்படும் சுய சார்பு மின்னழுத்தம் காரணமாக வெளியேற்றம் நிலையானதாக இருக்கும்.
3. பின்னர் அறிமுகப்படுத்தப்பட்ட வளிமண்டல அழுத்த பளபளப்பு வெளியேற்றம் மற்றும் மின்கடத்தா தடை பளபளப்பு வெளியேற்றத்தில் ரேடியோ அதிர்வெண் வெளியேற்றம் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது.
இடுகை நேரம்: ஜூன்-21-2023