உலோக கரிம வேதியியல் நீராவி படிவு

உலோக கரிம வேதியியல் நீராவி படிவு (MOCVD), வாயுப் பொருளின் மூலமாக உலோக கரிம சேர்ம வாயு உள்ளது, மேலும் படிவின் அடிப்படை எதிர்வினை செயல்முறை CVD ஐப் போன்றது.

1.MOCVD மூல எரிவாயு

MOCVD க்கு பயன்படுத்தப்படும் வாயு மூலமானது உலோக-கரிம கலவை (MOC) வாயு ஆகும். உலோக-கரிம சேர்மங்கள் என்பது கரிமப் பொருட்களை உலோகங்களுடன் இணைப்பதன் மூலம் உற்பத்தி செய்யப்படும் நிலையான சேர்மங்கள் ஆகும். கரிம சேர்மங்களில் அல்கைல், நறுமணம் உள்ளது. ஆல்கைலில் மெத்தில், எத்தில், புரோபில் மற்றும் பியூட்டைல் ​​ஆகியவை அடங்கும். ஆல்கைலில் மெத்தில், எத்தில், புரோபில் மற்றும் பியூட்டைல் ​​ஆகியவை அடங்கும். ஃபீனைல் ஹோமோலாக்ஸ், ட்ரைமெத்தில் காலியம், [Ga(CH₃)₃], டிரைமெத்தில் அலுமினியம் [Al(CH₃)₃] படல அடுக்கில் உள்ள மூன்று, ஐந்து சேர்மங்களில் மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக்ஸ், ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக்ஸ், குறைக்கடத்திகள் படிவதற்கு, Ga(CH) போன்றவை₃)₃ மற்றும் InGaN ஒளிரும் அடுக்கில் LED விளக்குகளின் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியில் அம்மோனியா சிலிக்கான் வேஃபர் அல்லது சபையரில் இருக்கலாம். LED விளக்குகள் டங்ஸ்டன் ஒளிரும் ஆற்றல் சேமிப்பு 90%, 60% க்கும் அதிகமான ஆற்றல் சேமிப்பு ஃப்ளோரசன்ட் விளக்குகளை விட அதிகம். LED விளக்குகள் டங்ஸ்டன் ஒளிரும் விளக்குகளை விட 90% அதிக ஆற்றல் திறன் கொண்டவை மற்றும் ஃப்ளோரசன்ட் விளக்குகளை விட 60% அதிக ஆற்றல் திறன் கொண்டவை. இப்போதெல்லாம், அனைத்து வகையான தெரு விளக்குகள், லைட்டிங் விளக்குகள் மற்றும் ஆட்டோமொபைல் விளக்குகள் அடிப்படையில் MOCVD ஆல் தயாரிக்கப்பட்ட LED ஒளி-உமிழும் படலங்களைப் பயன்படுத்துகின்றன.

2. படிவு வெப்பநிலை

கரிம உலோக சேர்மங்களின் சிதைவு வெப்பநிலை குறைவாகவும், படிவு வெப்பநிலை HCVD ஐ விட குறைவாகவும் உள்ளது. MOCVD ஆல் டெபாசிட் செய்யப்படும் TiN இன் படிவு வெப்பநிலையை சுமார் 500 டிகிரிக்கு குறைக்கலாம்.

–இந்தக் கட்டுரையை வெளியிட்டதுவெற்றிட பூச்சு இயந்திர உற்பத்தியாளர்குவாங்டாங் ஜென்ஹுவா