சூடான கம்பி வில் மேம்படுத்தப்பட்ட பிளாஸ்மா வேதியியல் நீராவி படிவு தொழில்நுட்பம், சூடான கம்பி வில் துப்பாக்கியைப் பயன்படுத்தி வில் பிளாஸ்மாவை வெளியிடுகிறது, இது சுருக்கமாக சூடான கம்பி வில் PECVD தொழில்நுட்பம் என்று அழைக்கப்படுகிறது. இந்த தொழில்நுட்பம் சூடான கம்பி வில் துப்பாக்கி அயன் பூச்சு தொழில்நுட்பத்தைப் போன்றது, ஆனால் வித்தியாசம் என்னவென்றால், சூடான கம்பி வில் துப்பாக்கி அயன் பூச்சினால் பெறப்பட்ட திடமான படலம், சூடான கம்பி வில் துப்பாக்கியால் வெளியிடப்படும் வில் ஒளி எலக்ட்ரான் ஓட்டத்தைப் பயன்படுத்தி சிலுவையிலுள்ள உலோகத்தை வெப்பமாக்கி ஆவியாக்குகிறது, அதே நேரத்தில் சூடான கம்பி வில் ஒளி PECVD வைர படலங்களை வைப்பதற்குப் பயன்படுத்தப்படும் CH4 மற்றும் H2 போன்ற எதிர்வினை வாயுக்களால் வழங்கப்படுகிறது. சூடான கம்பி வில் துப்பாக்கியால் வெளியிடப்படும் உயர் அடர்த்தி வில் வெளியேற்ற மின்னோட்டத்தை நம்பியிருப்பதன் மூலம், எதிர்வினை வாயு அயனிகள் வாயு அயனிகள், அணு அயனிகள், செயலில் உள்ள குழுக்கள் மற்றும் பலவற்றை உள்ளடக்கிய பல்வேறு செயலில் உள்ள துகள்களைப் பெற உற்சாகப்படுத்தப்படுகின்றன.
சூடான கம்பி வில் PECVD சாதனத்தில், பூச்சு அறைக்கு வெளியே இரண்டு மின்காந்த சுருள்கள் இன்னும் நிறுவப்பட்டுள்ளன, இதனால் அதிக அடர்த்தி கொண்ட எலக்ட்ரான் ஓட்டம் அனோடை நோக்கி நகரும் போது சுழலும், எலக்ட்ரான் ஓட்டத்திற்கும் எதிர்வினை வாயுவிற்கும் இடையில் மோதல் மற்றும் அயனியாக்கம் ஏற்படுவதற்கான நிகழ்தகவு அதிகரிக்கிறது. மின்காந்த சுருள் முழு படிவு அறையின் பிளாஸ்மா அடர்த்தியை அதிகரிக்க ஒரு வில் நெடுவரிசையாகவும் ஒன்றிணைக்க முடியும். வில் பிளாஸ்மாவில், இந்த செயலில் உள்ள துகள்களின் அடர்த்தி அதிகமாக உள்ளது, இது வைர படங்கள் மற்றும் பிற பட அடுக்குகளை பணிப்பொருளில் வைப்பதை எளிதாக்குகிறது.
——இந்தக் கட்டுரை குவாங்டாங் ஜென்ஹுவா டெக்னாலஜியால் வெளியிடப்பட்டது, ஒருஆப்டிகல் பூச்சு இயந்திரங்களின் உற்பத்தியாளர்.
இடுகை நேரம்: மே-05-2023