(1) தெளிக்கும் வாயு. தெளிக்கும் வாயு அதிக தெளிக்கும் மகசூல், இலக்கு பொருளுக்கு மந்தமானது, மலிவானது, அதிக தூய்மையைப் பெற எளிதானது மற்றும் பிற பண்புகளைக் கொண்டிருக்க வேண்டும். பொதுவாகச் சொன்னால், ஆர்கான் மிகவும் சிறந்த தெளிக்கும் வாயு ஆகும்.
(2) தெளிப்பு மின்னழுத்தம் மற்றும் அடி மூலக்கூறு மின்னழுத்தம். இந்த இரண்டு அளவுருக்கள் படத்தின் பண்புகளில் ஒரு முக்கிய தாக்கத்தை ஏற்படுத்துகின்றன, தெளிப்பு மின்னழுத்தம் படிவு விகிதத்தை மட்டுமல்ல, டெபாசிட் செய்யப்பட்ட படத்தின் கட்டமைப்பையும் கடுமையாக பாதிக்கிறது. அடி மூலக்கூறு ஆற்றல் மனித ஊசியின் எலக்ட்ரான் அல்லது அயன் ஓட்டத்தை நேரடியாக பாதிக்கிறது. அடி மூலக்கூறு தரையிறக்கப்பட்டிருந்தால், அது சமமான எலக்ட்ரான்களால் தாக்கப்படுகிறது; அடி மூலக்கூறு இடைநீக்கம் செய்யப்பட்டிருந்தால், அது சஸ்பென்ஷன் திறன் V1 இன் தரையுடன் ஒப்பிடும்போது சற்று எதிர்மறை ஆற்றலைப் பெற பளபளப்பு வெளியேற்றப் பகுதியில் உள்ளது, மேலும் அடி மூலக்கூறு V2 ஐச் சுற்றியுள்ள பிளாஸ்மாவின் திறன் அடி மூலக்கூறு திறனை விட அதிகமாக இருக்க வேண்டும், இது எலக்ட்ரான்கள் மற்றும் நேர்மறை அயனிகளின் ஒரு குறிப்பிட்ட அளவிலான தாக்குதலுக்கு வழிவகுக்கும், இதன் விளைவாக பட தடிமன், கலவை மற்றும் பிற பண்புகளில் மாற்றங்கள் ஏற்படும்: அடி மூலக்கூறு வேண்டுமென்றே சார்பு மின்னழுத்தத்தைப் பயன்படுத்தினால், அது எலக்ட்ரான்கள் அல்லது அயனிகளின் மின் ஏற்றுக்கொள்ளலின் துருவமுனைப்புக்கு ஏற்ப இருக்கும், அடி மூலக்கூறை சுத்திகரித்து படத்தின் ஒட்டுதலை மேம்படுத்துவது மட்டுமல்லாமல், படத்தின் கட்டமைப்பையும் மாற்ற முடியும். ரேடியோ அதிர்வெண் தெளிப்பு பூச்சுகளில், கடத்தி சவ்வு மற்றும் DC சார்பு தயாரித்தல்: மின்கடத்தா சவ்வு மற்றும் டியூனிங் சார்பு தயாரித்தல்.
(3) அடி மூலக்கூறு வெப்பநிலை. அடி மூலக்கூறு வெப்பநிலை படத்தின் உள் அழுத்தத்தில் அதிக தாக்கத்தை ஏற்படுத்துகிறது, ஏனெனில் வெப்பநிலை அடி மூலக்கூறில் டெபாசிட் செய்யப்பட்ட அணுக்களின் செயல்பாட்டை நேரடியாக பாதிக்கிறது, இதனால் படத்தின் கலவை, அமைப்பு, சராசரி தானிய அளவு, படிக நோக்குநிலை மற்றும் முழுமையற்ற தன்மை ஆகியவற்றை தீர்மானிக்கிறது.
–இந்தக் கட்டுரையை வெளியிட்டதுவெற்றிட பூச்சு இயந்திர உற்பத்தியாளர்குவாங்டாங் ஜென்ஹுவா
இடுகை நேரம்: ஜனவரி-05-2024

