1.Inafaa kwa kunyunyiza na kuweka filamu ya insulation. Mabadiliko ya haraka katika polarity electrode inaweza kutumika moja kwa moja sputter kuhami shabaha kupata filamu kuhami. Iwapo chanzo cha umeme cha DC kinatumika kunyunyiza na kuweka filamu ya insulation, filamu ya insulation itazuia ayoni chanya kuingia kwenye cathode, na kutengeneza safu chanya ya mkusanyiko wa ioni, ambayo ina uwezekano wa kuvunjika na kuwaka. Baada ya kuweka filamu ya kuhami kwenye anode, elektroni huzuiwa kuingia kwenye anode, na kusababisha uzushi wa kutoweka kwa anode. Wakati wa kutumia chanzo cha nguvu cha RF kufunika filamu ya insulation, kwa sababu ya polarity inayobadilishana ya elektroni, malipo chanya yaliyokusanywa kwenye cathode katika nusu ya kwanza ya mzunguko yatatengwa na elektroni katika nusu ya pili ya mzunguko, na elektroni zilizokusanywa kwenye anode zitatengwa na ioni chanya. Mchakato wa kinyume katika mzunguko wa nusu ya pili unaweza kuondokana na mkusanyiko wa mashtaka kwenye electrode, na mchakato wa kutokwa unaweza kuendelea kwa kawaida.
2.High frequency electrodes kuzalisha upendeleo binafsi. Katika kifaa cha RF kilicho na muundo wa elektrodi bapa, elektrodi za masafa ya juu kwenye saketi kwa kutumia ulinganishaji wa uunganishaji wa capacitive huzalisha voltage ya upendeleo wa kibinafsi. Tofauti kubwa kati ya kasi ya uhamiaji wa elektroni na kasi ya uhamaji wa ioni katika utiaji huwezesha elektroni kufikia kasi kubwa ya harakati kwa wakati fulani, huku kasi ya ioni polepole husababisha mkusanyiko. Electrode ya masafa ya juu iko katika uwezo hasi kwa sehemu kubwa ya kila mzunguko, na kusababisha voltage hasi kwenye eneo, ambayo ni jambo la upendeleo wa kibinafsi wa elektrodi ya masafa ya juu.
Upendeleo wa kibinafsi unaotokana na elektrodi ya kutokwa kwa RF huharakisha urushaji wa ayoni wa elektrodi ya cathode ili kutoa elektroni za Sekondari kila wakati ili kudumisha mchakato wa kutokwa, na upendeleo wa kibinafsi una jukumu sawa na kushuka kwa cathode katika kutokwa kwa mwanga wa DC. Ingawa unatumia usambazaji wa umeme wa RF, utiaji unaweza kuwa dhabiti kwa sababu ya voltage ya upendeleo inayotolewa na elektrodi ya masafa ya juu inayofikia 500-1000V.
3. Utoaji wa mzunguko wa redio una jukumu muhimu katika kutokwa kwa mwanga wa shinikizo la anga na kutokwa kwa mwanga wa kizuizi cha dielectric kuletwa baadaye.
Muda wa kutuma: Juni-21-2023