Teknolojia ya uwekaji wa mvuke ya kemikali ya plasma iliyoimarishwa ya waya ya moto hutumia bunduki ya arc ya waya kutoa arc plasma, iliyofupishwa kama teknolojia ya waya ya moto ya PECVD. Teknolojia hii ni sawa na teknolojia ya mipako ya ion ya waya ya moto ya arc gun, lakini tofauti ni kwamba filamu imara iliyopatikana kwa mipako ya ion ya moto ya arc gun ion hutumia mtiririko wa elektroni ya arc inayotolewa na bunduki ya moto ya arc ili joto na kuyeyusha chuma kwenye crucible, wakati waya ya moto ya arc mwanga PECVD inalishwa kama vile gesi ya 2 iliyotumiwa na gesi ya almasi, H2 hutumika na gesi ya almasi. Kwa kutegemea sasa ya kutokwa kwa safu ya juu-wiani iliyotolewa na bunduki ya arc ya waya ya moto, ioni za gesi tendaji zinasisimua kupata chembe mbalimbali za kazi, ikiwa ni pamoja na ioni za gesi, ioni za atomiki, vikundi vya kazi, na kadhalika.
Katika kifaa cha arc ya moto cha PECVD, coil mbili za sumaku-umeme bado zimewekwa nje ya chumba cha mipako, na kusababisha mtiririko wa elektroni wa juu-wiani kuzunguka wakati wa harakati kuelekea anode, na kuongeza uwezekano wa mgongano na ionization kati ya mtiririko wa elektroni na gesi ya majibu. Koili ya sumakuumeme inaweza pia kuungana kuwa safu ya arc ili kuongeza msongamano wa plasma ya chemba nzima ya utuaji. Katika plasma ya arc, msongamano wa chembe hizi zinazofanya kazi ni kubwa, na kuifanya iwe rahisi kuweka filamu za almasi na tabaka nyingine za filamu kwenye workpiece.
——Makala haya yametolewa na Guangdong Zhenhua Technology, amtengenezaji wa mashine za mipako ya macho.
Muda wa kutuma: Mei-05-2023