1. Fördelaktigt för sputtring och plätering av isoleringsfilm. Den snabba förändringen i elektrodpolaritet kan användas för att direkt sputtra isoleringsmål för att erhålla isoleringsfilmer. Om en likströmskälla används för att sputtra och avsätta isoleringsfilm, kommer isoleringsfilmen att blockera positiva joner från att komma in i katoden, vilket bildar ett positivt jonackumuleringsskikt, vilket är benäget för nedbrytning och antändning. Efter att en isoleringsfilm har avsatts på anoden blockeras elektroner från att komma in i anoden, vilket resulterar i fenomenet anodförsvinnande. När man använder en RF-strömkälla för att belägga isoleringsfilm, kommer de positiva laddningar som ackumulerats på katoden under den första halvan av cykeln, på grund av elektrodernas alternerande polaritet, att neutraliseras av elektroner under den andra halvan av cykeln, och de elektroner som ackumulerats på anoden kommer att neutraliseras av positiva joner. Den motsatta processen under den andra halvcykeln kan eliminera ackumuleringen av laddningar på elektroden, och urladdningsprocessen kan fortskrida normalt.
2. Högfrekventa elektroder genererar självförspänning. I RF-enheter med en platt elektrodstruktur genererar högfrekventa elektroder i kretsen, med hjälp av kapacitiv kopplingsmatchning, självförspänningsspänning. Den stora skillnaden mellan elektronmigrationshastigheten och jonmigrationshastigheten vid urladdning gör att elektroner kan uppnå en högre rörelsehastighet vid en given tidpunkt, medan den långsammare jonhastigheten orsakar ackumulering. Högfrekventa elektroden har en negativ potential under större delen av varje cykel, vilket resulterar i en negativ spänning på terrängen, vilket är fenomenet med självförspänning hos högfrekventa elektroder.
Självförspänningen som genereras av RF-urladdningselektroden accelererar jonbombardemanget av katodelektroden för att kontinuerligt avge sekundära elektroner för att upprätthålla urladdningsprocessen, och självförspänningen spelar en liknande roll som katodfallet i likströms-glimurladdning. Även om man använder en RF-strömförsörjning kan urladdningen vara stabil på grund av självförspänningsspänningen som genereras av högfrekvenselektroden och når 500-1000V.
3. Radiofrekvensurladdning spelar en viktig roll i glödurladdningen vid atmosfärstryck och glödurladdningen vid dielektrisk barriär som introducerades senare.
Publiceringstid: 21 juni 2023