Pamakéan RF ngurangan

1.Beneficial pikeun sputtering na plating pilem insulasi. Parobahan gancang dina polaritasna éléktroda bisa dipaké pikeun langsung sputter target insulating pikeun ménta film insulating. Lamun sumber kakuatan DC dipaké pikeun sputter na deposit pilem insulasi, pilem insulasi bakal meungpeuk ion positif ti ngasupkeun katoda, ngabentuk lapisan akumulasi ion positif, nu rawan ngarecah na ignition. Saatos neundeun pilem insulasi dina anoda, éléktron diblokir tina asup kana anoda, nyababkeun fenomena leungit anoda. Nalika nganggo sumber kakuatan RF pikeun ngalapis pilem insulasi, kusabab polaritasna bolak-balik éléktroda, muatan positip anu akumulasi dina katoda dina satengah mimiti siklus bakal nétralisasi ku éléktron dina satengah kadua siklusna, sareng éléktron anu akumulasi dina anoda bakal nétralisasi ku ion positip. Prosés sabalikna dina siklus satengah kadua bisa ngaleungitkeun akumulasi muatan dina éléktroda, sarta prosés ngurangan bisa lumangsung normal.

éléktroda frékuénsi 2.High ngahasilkeun bias diri. Dina alat RF kalawan struktur éléktroda datar, éléktroda frékuénsi luhur dina sirkuit maké gandeng kapasitif cocog ngahasilkeun tegangan bias diri. Beda badag antara laju migrasi éléktron jeung laju migrasi ion dina ngurangan ngamungkinkeun éléktron pikeun ngahontal laju gerak nu leuwih gede dina waktu nu tangtu, sedengkeun laju ion laun ngabalukarkeun akumulasi. Éléktroda frékuénsi luhur aya dina poténsi négatip pikeun kalolobaan unggal siklus, nyababkeun tegangan négatip dina rupa bumi, anu mangrupikeun fenomena bias diri tina éléktroda frekuensi tinggi.

Bias diri dihasilkeun ku éléktroda ngurangan RF accelerates bombardment ion tina éléktroda katoda pikeun terus emit éléktron sekundér pikeun ngajaga prosés ngurangan, sarta bias diri muterkeun hiji peran sarupa jeung serelek katoda di DC glow ngurangan. Sanajan ngagunakeun catu daya RF, ngurangan bisa stabil alatan tegangan bias diri dihasilkeun ku éléktroda frékuénsi luhur ngahontal 500-1000V.

3. ngurangan frékuénsi radio muterkeun hiji peran penting dina tekanan atmosfir glow ngurangan sarta diéléktrik panghalang glow ngurangan diwanohkeun engké.