Déposisi uap kimia organik logam (MOCVD), sumber bahan gas nyaéta gas sanyawa organik logam, sareng prosés réaksi dasar déposisi sami sareng CVD.
1.MOCVD gas atah
Sumber gas anu dianggo pikeun MOCVD nyaéta gas sanyawa logam-organik (MOC). Sanyawa logam-organik nyaéta sanyawa stabil dihasilkeun ku ngagabungkeun zat organik jeung logam. Senyawa organik mibanda alkil, aromatik. Alkil kaasup métil, étil, propil, jeung butil. Alkil kaasup métil, étil, propil, jeung butil. Aromatik kaasup homolog fenil, trimétil galium, [Ga(CH3)3], aluminium trimétil [Al(CH3)3] pikeun déposisi microelectronics, optoelectronics, semikonduktor dina tilu, lima sanyawa dina lapisan pilem, kayaning Ga(CH3)3 sareng amonia tiasa aya dina wafer silikon atanapi inten biru dina kamekaran epitaxial lampu LED dina lapisan luminescent InGaN. lampu LED leuwih ti tungsten Pijer hemat energi 90%, leuwih ti 60% lampu fluoresensi hemat energi. Lampu LED 90% langkung éfisién énergi tibatan lampu pijar tungsten sareng 60% langkung éfisién énergi tibatan lampu fluoresensi. Ayeuna, sagala jinis lampu jalan, lampu penerangan sareng lampu mobil dina dasarna nganggo film pemancar cahaya LED anu diproduksi ku MOCVD.
2. Suhu déposisi
Suhu dékomposisi sanyawa logam organik rendah, sareng suhu déposisi langkung handap tibatan HCVD. Suhu déposisi TiN disimpen ku MOCVD tiasa diréduksi janten sakitar 500 derajat.
– Tulisan ieu dikaluarkeun kuprodusén mesin palapis vakumGuangdong Zhenhua
waktos pos: Oct-20-2023