1.Molemo bakeng sa sputtering le plating insulation filimi. Phetoho e potlakileng ea polarity ea li-electrode e ka sebelisoa ho qhekella ka kotloloho lipheo tsa insulating ho fumana lifilimi tse sireletsang. Haeba mohloli oa motlakase oa DC o sebelisetsoa ho fafatsa le ho kenya filimi ea ho kenya letsoho, filimi ea ho kenya letsoho e tla thibela li-ion tse ntle ho kena ka har'a cathode, e leng se etsang hore ho be le lesela le letle la ho bokella li-ion, tse atisang ho senyeha le ho chesa. Ka mor'a ho kenya filimi e sireletsang holim'a anode, lielektrone li thibeloa ho kena ho anode, e leng se bakang ketsahalo ea ho nyamela ha anode. Ha o sebelisa mohloli oa matla a RF ho koahela filimi ea insulation, ka lebaka la polarity e fapaneng ea li-electrode, litefiso tse ntle tse bokelletsoeng karolong ea pele ea potoloho li tla fokotsoa ke lielektrone karolong ea bobeli ea potoloho, 'me lielektrone tse bokelletsoeng ho anode li tla fokotsoa ke li-ion tse ntle. Ts'ebetso e fapaneng nakong ea potoloho ea halofo ea bobeli e ka felisa ho bokellana ha litefiso ho electrode, 'me mokhoa oa ho tsoa o ka tsoela pele ka mokhoa o tloaelehileng.
Li-electrode tse phahameng tsa 2.High frequency li hlahisa ho ikemela. Sesebelisoa sa RF se nang le sebopeho se sephara sa li-electrode, li-electrode tse phahameng-frequency potolohong li sebelisa capacitive coupling matching li hlahisa voltage ea boinotšing. Phapang e kholo pakeng tsa lebelo la ho falla ha elektronike le lebelo la ho falla ha ion ha le qhala ho nolofalletsa lielektrone ho finyella lebelo le leholo la ho tsamaea ka nako e itseng, ha lebelo la ion le liehang le baka ho bokellana. Electrode e nang le maqhubu a phahameng e maemong a mabe bakeng sa boholo ba potoloho e 'ngoe le e' ngoe, e leng se bakang hore ho be le voltage e mpe sebakeng, e leng ketsahalo ea boithati ba electrode e phahameng ea maqhubu.
Ho itšehla thajana ho hlahisoang ke RF discharge electrode ho potlakisa ho phatloha ha ion ea electrode ea cathode ho tsoela pele ho ntša lielektrone tsa Sekondari ho boloka ts'ebetso ea ho tsoa, 'me ho itšehla thajana ho bapala karolo e ts'oanang le ho theoha ha cathode ho phallo ea khanya ea DC. Leha o sebelisa phepelo ea motlakase ea RF, phepelo ea motlakase e ka tsitsa ka lebaka la motlakase oa boikhethelo o hlahisoang ke elektrode e phahameng haholo e fihlang ho 500-1000V.
3. Phallo ea maqhubu a seea-le-moea e phetha karolo ea bohlokoa ho phatloheng ha khanya ea sepakapaka le ho tsoa ha khanya ea dielectric barrier e hlahisoa hamorao.
Nako ea poso: Jun-21-2023