1, Карактеристике распршивања премаза
У поређењу са конвенционалним вакуумским испаравањем, распршивање има следеће карактеристике:
(1) Било која супстанца може се распршити, посебно елементи и једињења са високом тачком топљења и ниским притиском паре. Све док је у чврстом стању, било да је метал, полупроводник, изолатор, једињење и смеша итд., било да је блок, гранулирани материјал може се користити као циљни материјал. Пошто се приликом распршивања изолационих материјала и легура попут оксида дешава мало разлагања и фракционисања, они се могу користити за припрему танких филмова и легура са униформним компонентама сличним онима у циљном материјалу, па чак и суперпроводних филмова са сложеним саставима. Поред тога, метод реактивног распршивања може се користити и за производњу филмова једињења потпуно различитих од циљног материјала, као што су оксиди, нитриди, карбиди и силициди.
(2) Добра адхезија између распршеног филма и подлоге. Пошто је енергија распршених атома 1-2 реда величине већа од енергије испарених атома, конверзија енергије високоенергетских честица депонованих на подлози генерише већу топлотну енергију, што побољшава адхезију распршених атома на подлогу. Део високоенергетских распршених атома биће убризган у различитом степену, формирајући такозвани псеудо-дифузиони слој на подлози где се распршени атоми и атоми материјала подлоге „мешају“ једни са другима. Поред тога, током бомбардовања распршених честица, подлога се увек чисти и активира у зони плазме, што уклања слабо прилепљене исталожене атоме, пречишћава и активира површину подлоге. Као резултат тога, адхезија слоја распршеног филма на подлогу је знатно побољшана.
(3) Висока густина распршивања, мање рупа и већа чистоћа филмског слоја јер нема контаминације лончића, што је неизбежно код вакуумског наношења паром током процеса распршивања.
(4) Добра контрола и поновљивост дебљине филма. Пошто се струја пражњења и струја циља могу контролисати одвојено током распршивања, дебљина филма се може контролисати контролом струје циља, стога је контрола дебљине филма и поновљивост дебљине филма вишеструким распршивањем распршивања добра, а филм унапред одређене дебљине може се ефикасно прекрити. Поред тога, распршивање може постићи једнолику дебљину филма на великој површини. Међутим, за општу технологију распршивања (углавном диполно распршивање), опрема је компликована и захтева уређај под високим притиском; брзина формирања филма распршивањем је ниска, брзина вакуумског испаравања је 0,1~5 нм/мин, док је брзина распршивања 0,01~0,5 нм/мин; пораст температуре подлоге је висок и осетљив на нечистоће итд. Међутим, захваљујући развоју РФ распршивања и магнетронског распршивања, постигнут је велики напредак у постизању брзог распршивања и смањењу температуре подлоге. Штавише, последњих година се истражују нове методе распршивања – засноване на планарном магнетронском распршивању – како би се минимизирао притисак ваздуха за распршивање до распршивања са нултим притиском где ће притисак усисног гаса током распршивања бити нула.
Време објаве: 08.11.2022.