1. Корисно за распршивање и наношење изолационог филма. Брза промена поларитета електроде може се користити за директно распршивање изолационих мета ради добијања изолационих филмова. Ако се користи једносмерни извор напајања за распршивање и наношење изолационог филма, изолациони филм ће блокирати улазак позитивних јона у катоду, формирајући слој акумулације позитивних јона, који је склон квару и паљењу. Након наношења изолационог филма на аноду, електрони су блокирани од уласка у аноду, што резултира феноменом нестанка аноде. Када се користи РФ извор напајања за премазивање изолационог филма, због наизменичног поларитета електрода, позитивна наелектрисања акумулирана на катоди у првој половини циклуса биће неутралисана електронима у другој половини циклуса, а електрони акумулирани на аноди биће неутралисани позитивним јонима. Супротан процес у другој половини циклуса може елиминисати акумулацију наелектрисања на електроди, а процес пражњења може се нормално одвијати.
2. Високофреквентне електроде генеришу сопствену поларност. У РФ уређају са равном структуром електрода, високофреквентне електроде у колу које користе капацитивно спрезање генеришу напон сопствене поларности. Огромна разлика између брзине миграције електрона и брзине миграције јона при пражњењу омогућава електронима да постигну већу брзину кретања у датом тренутку, док спорија брзина јона узрокује акумулацију. Високофреквентна електрода је на негативном потенцијалу током већег дела сваког циклуса, што резултира негативним напоном на терену, што је феномен сопствене поларности високофреквентне електроде.
Сопствена поларност коју генерише РФ електрода за пражњење убрзава јонско бомбардовање катодне електроде како би се континуирано емитовали секундарни електрони ради одржавања процеса пражњења, а сопствена поларност игра сличну улогу као пад катоде код једносмерног сијајућег пражњења. Иако се користи РФ напајање, пражњење може бити стабилно због напона сопствене поларности који генерише високофреквентна електрода, а који достиже 500-1000 V.
3. Радиофреквентно пражњење игра важну улогу у тлећем пражњењу при атмосферском притиску и тлећем пражњењу са диелектричном баријером које је уведено касније.
Време објаве: 21. јун 2023.