1. Depozitimi i asistuar nga rrezet jonike përdor kryesisht rreze jonike me energji të ulët për të ndihmuar në modifikimin sipërfaqësor të materialeve.
(1) Karakteristikat e depozitimit të asistuar nga jonet
Gjatë procesit të veshjes, grimcat e filmit të depozituar bombardohen vazhdimisht nga jonet e ngarkuara nga burimi jonik në sipërfaqen e substratit, ndërsa ato janë të veshura me rreze jonike të ngarkuara.
(2) Roli i depozitimit të asistuar nga jonet
Jonet me energji të lartë bombardojnë grimcat e filmit të lidhura lirshëm në çdo kohë; Duke transferuar energji, grimcat e depozituara fitojnë energji kinetike më të madhe, duke përmirësuar kështu ligjin e bërthamëzimit dhe rritjes; Prodhojnë një efekt ngjeshjeje në indin e membranës në çdo kohë, duke bërë që filmi të rritet më dendur; Nëse injektohen jone gazi reaktivë, një shtresë përbërëse stekiometrike mund të formohet në sipërfaqen e materialit, dhe nuk ka ndërfaqe midis shtresës së përbërësit dhe substratit.
2. Burim jonik për depozitim të asistuar nga rreze jonike
Karakteristika e depozitimit të asistuar nga rreze jonike është se atomet e shtresës së filmit (grimcat e depozitimit) bombardohen vazhdimisht nga jone me energji të ulët nga burimi jonik në sipërfaqen e substratit, duke e bërë strukturën e filmit shumë të dendur dhe duke përmirësuar performancën e shtresës së filmit. Energjia E e rrezes jonike është ≤ 500eV. Burimet jonike të përdorura zakonisht përfshijnë: burimin e joneve Kauffman, burimin e joneve Hall, burimin e joneve të shtresës anodë, burimin e joneve Hall të katodës së zbrazët, burimin e joneve të frekuencës radio, etj.
Koha e postimit: 30 qershor 2023