Spërkatja me magnetron reaktiv do të thotë që furnizohet gaz reaktiv për të reaguar me grimcat e spërkatura gjatë procesit të spërkatjes për të prodhuar një film të përbërë. Ai mund të furnizojë gaz reaktiv për të reaguar me objektivin e përbërë që spërkatet në të njëjtën kohë, dhe gjithashtu mund të furnizojë gaz reaktiv për të reaguar me objektivin e metalit ose aliazhit që spërkatet në të njëjtën kohë për të përgatitur një film të përbërë me një raport kimik të caktuar. Karakteristikat e spërkatjes me magnetron reaktiv për të përgatitur filma të përbërë janë:
(1) Materialet e synuara të përdorura për spërkatjen reaktive magnetronike (objektiv me një element ose objektiv me shumë elementë) dhe gazrat e reagimit janë të lehta për t'u arritur pastërti e lartë, e cila është e favorshme për përgatitjen e filmave të përbërë me pastërti të lartë.
(2) Në spërkatjen reaktive me magnetron, duke rregulluar parametrat e procesit të depozitimit, mund të përgatitet raporti kimik ose raporti jo-kimik i filmave të përbërë, në mënyrë që të arrihet qëllimi i rregullimit të karakteristikave të filmit duke rregulluar përbërjen e filmit.
(3) Temperatura e substratit në përgjithësi nuk është shumë e lartë gjatë procesit të depozitimit me spërkatje magnetronike reaktive, dhe procesi i formimit të filmit zakonisht nuk kërkon që substrati të nxehet në temperatura shumë të larta, kështu që ka më pak kufizime në materialin e substratit.
(4) Spërkatja me magnetron reaktiv është e përshtatshme për përgatitjen e filmave të hollë homogjenë me sipërfaqe të madhe dhe mund të arrijë prodhim të industrializuar me një prodhim vjetor prej një milion metrash katrorë veshje nga një makinë e vetme. Në shumë raste, natyra e filmit mund të ndryshohet thjesht duke ndryshuar raportin e gazit reaktiv ndaj gazit inert gjatë spërkatjes. Për shembull, filmi mund të ndryshohet nga metal në gjysmëpërçues ose jometal.
——Ky artikull kaprodhuesi i makinës së veshjes me vakumGuangdong Zhenhua u lirua
Koha e postimit: 31 gusht 2023