1. Faa'iido u leh sputtering iyo dhajinta filimka dahaarka. Isbeddelka degdega ah ee polarity electrode waxaa loo isticmaali karaa in si toos ah u tufo bartilmaameedyada dahaarka si aad u hesho filimo dahaarka ah. Haddii isha korantada ee DC loo isticmaalo in lagu shubo oo lagu shubo filimka dahaarka, filimka dahaadhku wuxuu xannibi doonaa ion togan oo soo galaya cathode, samaynta lakabka ururinta ion togan, kaas oo u nugul burburka iyo dabka. Ka dib marka lagu dhejiyo filim daaha ah anode-ka, elektaroonnada ayaa laga xannibay inay galaan anode-ka, taasoo keentay ifafaale maqnaansho anode ah. Markaad isticmaalayso isha korantada RF si aad ugu daboosho filimka dahaarka, iyadoo ay ugu wacan tahay polarity beddelka ee electrodes-ka, eedeymaha togan ee lagu uruuriyay cathode qeybta hore ee wareegga waxaa lagu dhexdaadin doonaa elektarooniga qeybta labaad ee wareegga, iyo elektaroonnada ku urursan anode-ka waxaa lagu dhex milmi doonaa ions togan. Nidaamka ka soo horjeeda wareegga labaad ee wareegga labaad wuxuu baabi'in karaa isku-ururinta kharashyada korantada, habka dheecaanku wuxuu u socon karaa si caadi ah.
2. Electrodes-ka soo noqnoqda ayaa abuura eexda. Qalabka RF ee leh qaab-dhismeedka korantada siman, korantada-soo noqnoqda ee wareegga wareegga iyadoo la adeegsanayo isku-xirnaanta awoodda leh waxay dhalinaysaa danab is-eexasho ah. Farqiga weyn ee u dhexeeya xawaaraha socdaalka elektarooniga ah iyo xawaaraha socdaalka ion ee dareeraha ayaa awood u siinaya electrons si ay u gaaraan xawaare dhaq-dhaqaaq weyn waqti go'an, halka xawaaraha ion ee gaabinaya uu keeno ururinta. Electrode-ka-sare ee soo noqnoqda ayaa ku jira awood taban inta badan wareeg kasta, taasoo keentay koronto taban oo ku saabsan dhulka, taas oo ah ifafaale is-eexasho ee electrode-soo noqnoqda sare.
Eexda nafsadda ah ee ay dhaliso dareeraha dareeraha ee RF waxay dedejisaa bamka ion ee katoode-ka elektiroonigga ah si ay si joogto ah u sii dayso electrons-ka labaad si ay u ilaaliso habka dheecaanka, iyo eexda nafta ayaa door la mid ah hoos u dhaca cathode ee dareeraha dhalaalka DC. In kasta oo la isticmaalayo koronto RF ah, sii dayntu waxa ay noqon kartaa mid xasiloon sababtuna tahay korantada eexda ee ay dhaliso korantada soo noqnoqota ee heerka sare ah oo gaareysa 500-1000V.
3. Dheecaannada soo noqnoqda ee raadiyaha ayaa door muhiim ah ka ciyaara qulqulka cadaadiska atmospheric iyo dareeraha dhaldhalaalka dielectric ee la soo bandhigay hadhow.
Waqtiga boostada: Juun-21-2023