Tiknoolajiyada kaydinta uumiga kiimikaad ee balaasmaha kulul waxay isticmaashaa qoriga siliga kulul si ay u sii dayso balaasmaha, oo loo soo gaabiyo sida tignoolajiyada arc arc PECVD. Tignoolajiyadani waxay la mid tahay tikniyoolajiyadda dahaarka kulul ee arc gun ion, laakiin farqiga u dhexeeya ayaa ah in filimka adag ee laga helo xargaha kulul ee arc gun ion daahan uu isticmaalo qulqulka arc iftiinka elektaroonigga ah ee ka soo baxa qoryaha kulul ee siliga kulul si uu u kululeeyo oo uumi uga saaro birta ku jirta weelka, halka nalka kulul ee PECVD lagu quudiyo gaasaska falcelinta, sida CH4 iyo H2, kuwaas oo loo isticmaalo in lagu shubo dheeman. Adoo ku tiirsanaanta qulqulka cufnaanta sare ee qulqulka qulqulka ee uu sii daayo qoryaha kulul ee arc, ion gaaska falceliska ah waxay ku faraxsan yihiin inay helaan qaybo firfircoon oo kala duwan, oo ay ku jiraan ion gaas, ion atomic, kooxaha firfircoon, iyo wixii la mid ah.
Qalabka kulul ee arc PECVD, laba gariirood oo elektromagnetic ah ayaa wali lagu rakibay meel ka baxsan qolka dahaarka, taasoo keenaysa qulqulka korantada ee cufnaanta sare si uu u wareego inta lagu jiro dhaqdhaqaaqa dhanka anode, kordhinta itimaalka isku dhaca iyo ionization ee u dhexeeya socodka elektarooniga iyo gaaska falcelinta. Gariiradda korantada ayaa sidoo kale isku xiri karta tiirarka arc si ay u kordhiso cufnaanta balaasmaha qolka dhigaalka oo dhan. Plasma arc, cufnaanta qaybahan firfircoon ayaa sarreeya, taas oo sahlaysa in lagu dhejiyo filimada dheemanka iyo lakabyada kale ee filimka ee shaqada.
——Maqaalkan waxaa sii daayay Guangdong Zhenhua Technology, asoo saaraha mashiinada daahan indhaha.
Waqtiga boostada: May-05-2023