(1) Gaaska daadsan. Gaaska qulqulaya waa inuu lahaadaa sifooyin wax-soo-saar sare oo sarreeya, qallafsanaanta walxaha bartilmaameedka ah, raqiis ah, si sahlan loo helo nadiif sare iyo sifooyin kale. Guud ahaan, argon waa gaaska ugu fiican ee sputtering.
(2) Korontada ku dhufashada iyo danabka substrate-ka. Labadan xuduudaha ayaa saameyn muhiim ah ku leh sifooyinka filimka, korantada qulqulaya ma aha oo kaliya inay saameynayso heerka dhigaalka, laakiin sidoo kale waxay si dhab ah u saameeyaan qaabka filimka la dhigay. Awoodda substrate-ka waxay si toos ah u saamaysaa socodka elektarooniga ama ion ee duritaanka bini'aadamka. Haddii substrate-ku uu yahay mid dhulka la dhigay, waxaa lagu duqeeyaa elektaroonik u dhigma; Haddii substrate-ka la hakiyo, waxay ku taal aagga qulqulka dhalaalka si loo helo wax yar oo taban marka loo eego dhulka suurtagalka ganaaxa V1, iyo awoodda plasma ee ku wareegsan substrate-ka V2 si ay uga sarreyso awoodda substrate-ka, taas oo siin doonta heer gaar ah oo qarxinta elektaroonigga ah iyo ions togan, taasoo keentay isbeddel ku yimaada dhumucda filimka, halabuurka, iyo sifooyin kale: haddii korontadu ay si waafaqsan ujeedada korantada loo isticmaalo. aqbalida electrons ama ions, ma aha oo kaliya in ay nadiifiso substrate-ka iyo kor u qaadida adhesion ee filimka, laakiin sidoo kale bedeli qaab-dhismeedka filimka. Daahan inta jeer ee raadiyaha, diyaarinta xuubka kaari iyo eexda DC: diyaarinta xuubka dielectric iyo hagaajinta eexda.
(3) heerkulka substrate. Heerkulka substrate-ka ayaa saameyn weyn ku leh culeyska gudaha ee filimka, taas oo ay ugu wacan tahay heerkulku si toos ah u saameeya dhaqdhaqaaqa atamka la dhigo ee substrate-ka, sidaas darteed go'aaminta halabuurka filimka, qaab-dhismeedka, celceliska cabbirka hadhuudhka, jihada crystal iyo dhamaystir la'aanta.
–Maqaalkan waxa soo saaraysoo saaraha mashiinka daahan vacuumGuangdong Zhenhua
Waqtiga boostada: Jan-05-2024