O le uaea vevela arc fa'aleleia plasma vaila'au vaila'au fa'apipi'i fa'atekonolosi e fa'aogaina ai le fana uaea vevela e fa'aulu ai le plasma arc, fa'apu'upu'u e pei o le tekonolosi PECVD uaea vevela. O lenei tekinolosi e tutusa ma le uaea vevela arc fana ion coating tekinolosi, ae o le eseesega e faapea o le ata mautu maua mai le vevela uaea arc fana ion coating faaaogaina le arc malamalama electron tafe emitted e le vevela uaea arc fana e vevela ma evaporate le uʻamea i le uʻamea, ae o le uaea vevela arc malamalama PECVD e fafagaina i kasa tali, e pei o le CH4 ma le H2, lea o loo faaaogaina ata tifaga e teu ai taimane. E ala i le faalagolago i luga o le maualuga-density arc lafoaia i le taimi nei emitted e le vevela uaea arc fana, o le kasa ions reactive e fiafia e maua vaega eseese toaaga, e aofia ai ions kasa, ions atomic, vaega malosi, ma isi.
I le uaea vevela arc PECVD masini, lua coils electromagnetic o loo faapipii pea i fafo o le potu ufiufi, mafua ai le tafe eletise maualuga-teletele e sui i le taimi o le gaoioiga agai atu i le anode, faateleina le avanoa o collision ma ionization i le va o le tafe eletise ma le kesi tali. E mafai foi ona fa'apipi'i le coil electromagnetic i se koluma arc e fa'ateleina ai le maualuga o le plasma o le potu fa'aputu atoa. I le arc plasma, o le mamafa o nei vaega o loʻo galue e maualuga, e faʻafaigofie ai ona teuina ata tifaga taimane ma isi ata tifaga i luga o le mea faigaluega.
——O lenei tusiga na tatalaina e Guangdong Zhenhua Technology, agaosiga o masini fa'apipi'i mata.
Taimi meli: Me-05-2023