1. Koristno za naprševanje in nanašanje izolacijske folije. Hitra sprememba polarnosti elektrod se lahko uporabi za neposredno naprševanje izolacijskih tarč za pridobitev izolacijskih folij. Če se za naprševanje in nanašanje izolacijske folije uporabi enosmerni vir napajanja, bo izolacijska folija blokirala vstop pozitivnih ionov v katodo in tvorila plast kopičenja pozitivnih ionov, ki je nagnjena k preboju in vžigu. Po nanašanju izolacijske folije na anodo se elektronom prepreči vstop v anodo, kar povzroči izginotje anode. Pri uporabi RF vira napajanja za nanašanje izolacijske folije se zaradi izmenične polarnosti elektrod pozitivni naboji, nabrani na katodi v prvi polovici cikla, nevtralizirajo z elektroni v drugi polovici cikla, elektroni, nabrani na anodi, pa bodo nevtralizirani s pozitivnimi ioni. Nasprotni postopek v drugi polovici cikla lahko odpravi kopičenje nabojev na elektrodi in postopek praznjenja lahko normalno poteka.
2. Visokofrekvenčne elektrode ustvarjajo lastno napetost. V RF napravi s ploščato strukturo elektrod visokofrekvenčne elektrode v vezju, ki uporabljajo kapacitivno sklopitev, ustvarjajo lastno napetost. Velika razlika med hitrostjo migracije elektronov in hitrostjo migracije ionov med praznjenjem omogoča elektronom, da v danem trenutku dosežejo večjo hitrost gibanja, medtem ko nižja hitrost ionov povzroči kopičenje. Visokofrekvenčna elektroda ima večji del vsakega cikla negativni potencial, kar povzroči negativno napetost na terenu, kar je pojav lastne napetosti visokofrekvenčne elektrode.
Lastna napetost, ki jo ustvari visokofrekvenčna elektroda za razelektritev, pospeši bombardiranje katodne elektrode z ioni, kar omogoča neprekinjeno oddajanje sekundarnih elektronov za vzdrževanje procesa razelektritve, lastna napetost pa ima podobno vlogo kot padec napetosti katode pri enosmernem tlenju. Čeprav se uporablja visokofrekvenčni vir napajanja, je razelektritev lahko stabilna zaradi lastne napetosti, ki jo ustvari visokofrekvenčna elektroda in doseže 500–1000 V.
3. Radiofrekvenčna razelektritev igra pomembno vlogo pri atmosferskem tlaku in dielektričnem pregradnem sijaju, ki sta bila uvedena kasneje.
Čas objave: 21. junij 2023