Kovinsko-organsko kemično nanašanje s paro (MOCVD), vir plinastega materiala je kovinsko-organska spojina, osnovni reakcijski postopek nanašanja pa je podoben CVD.
1. Surovi plin MOCVD
Plinasti vir, ki se uporablja za MOCVD, je plin kovinsko-organska spojina (MOC). Kovinsko-organske spojine so stabilne spojine, ki nastanejo z združevanjem organskih snovi s kovinami. Organske spojine imajo alkilne in aromatske spojine. Alkilne spojine vključujejo metil, etil, propil in butil. Alkilne spojine vključujejo metil, etil, propil in butil. Aromatske spojine vključujejo fenilne homologe, trimetil galij, [Ga(CH3)3], trimetil aluminij [Al(CH3)3] za nanašanje mikroelektronike, optoelektronike, polprevodnikov v treh, petih spojinah v filmski plasti, kot je Ga(CH3)3 in amonijak je lahko prisoten v silicijevi rezini ali safirju pri epitaksialni rasti LED svetilk v luminiscenčni plasti InGaN. LED svetilke so za 90 % varčnejše od volframovih žarnic in za več kot 60 % varčnejše od fluorescenčnih sijalk. LED svetilke so za 90 % energetsko učinkovitejše od volframovih žarnic in za 60 % bolj energetsko učinkovite od fluorescenčnih sijalk. Dandanes vse vrste uličnih svetilk, svetil in avtomobilskih svetilk v osnovi uporabljajo LED filme, ki jih proizvaja MOCVD.
2. Temperatura nanašanja
Temperatura razgradnje organskih kovinskih spojin je nizka, temperatura nanašanja pa je nižja kot pri HCVD. Temperaturo nanašanja TiN, nanešenega z MOCVD, je mogoče znižati na približno 500 stopinj.
–Ta članek je objavilproizvajalec strojev za vakuumsko lakiranjeGuangdong Zhenhua
Čas objave: 20. oktober 2023