1. Výhodné pre naprašovanie a pokovovanie izolačnej fólie. Rýchla zmena polarity elektródy sa dá použiť na priame naprašovanie izolačných terčov na získanie izolačných fólií. Ak sa na naprašovanie a nanášanie izolačnej fólie použije zdroj jednosmerného prúdu, izolačná fólia zablokuje vstup kladných iónov do katódy a vytvorí vrstvu akumulácie kladných iónov, ktorá je náchylná na prerušenie a vznietenie. Po nanesení izolačnej fólie na anódu je vstup elektrónov do anódy zablokovaný, čo vedie k javu zmiznutia anódy. Pri použití RF zdroja energie na poťahovanie izolačnej fólie sa v dôsledku striedavej polarity elektród kladné náboje nahromadené na katóde v prvej polovici cyklu neutralizujú elektrónmi v druhej polovici cyklu a elektróny nahromadené na anóde sa neutralizujú kladnými iónmi. Opačný proces v druhej polovici cyklu môže eliminovať akumuláciu nábojov na elektróde a proces vybíjania môže prebiehať normálne.
2. Vysokofrekvenčné elektródy generujú vlastné predpätie. Vo vysokofrekvenčnom zariadení s plochou elektródovou štruktúrou generujú vysokofrekvenčné elektródy v obvode pomocou kapacitného prispôsobenia väzby vlastné predpätie. Obrovský rozdiel medzi rýchlosťou migrácie elektrónov a rýchlosťou migrácie iónov pri výboji umožňuje elektrónom dosiahnuť v danom čase vyššiu rýchlosť pohybu, zatiaľ čo pomalšia rýchlosť iónov spôsobuje ich akumuláciu. Vysokofrekvenčná elektróda má počas väčšiny každého cyklu záporný potenciál, čo vedie k zápornému napätiu na povrchu, čo je jav vlastného predpätia vysokofrekvenčnej elektródy.
Vlastné predpätie generované vysokofrekvenčnou výbojovou elektródou urýchľuje bombardovanie katódovej elektródy iónmi, čím sa kontinuálne emitujú sekundárne elektróny na udržanie procesu výboja. Vlastné predpätie zohráva podobnú úlohu ako pokles napätia na katóde pri jednosmernom tlejúcom výboji. Aj keď sa používa vysokofrekvenčný zdroj napájania, výboj môže byť stabilný vďaka vlastnému predpätiu generovanému vysokofrekvenčnou elektródou, ktoré dosahuje 500 – 1 000 V.
3. Rádiofrekvenčný výboj hrá dôležitú úlohu v tlmivom výboji za atmosférického tlaku a tlmivom výboji s dielektrickou bariérou, ktoré boli zavedené neskôr.
Čas uverejnenia: 21. júna 2023