Technológia plazmového chemického nanášania z pár s horúcim drôtom využíva horúcu drôtovú oblúkovú pištoľ na emisiu oblúkovej plazmy, skrátene technológia PECVD s horúcim drôtom. Táto technológia je podobná technológii iónového nanášania horúcou drôtovou pištoľou, ale rozdiel je v tom, že pevný film získaný iónovým nanášaním horúcou drôtovou pištoľou využíva tok elektrónov z oblúkového svetla emitovaného horúcou drôtovou pištoľou na ohrev a odparovanie kovu v tégliku, zatiaľ čo PECVD s horúcim drôtom je napájaný reakčnými plynmi, ako sú CH4 a H2, ktoré sa používajú na nanášanie diamantových filmov. Spoliehaním sa na prúd oblúkového výboja s vysokou hustotou emitovaný horúcou drôtovou pištoľou sa reaktívne plynové ióny excitujú a vytvárajú rôzne aktívne častice vrátane plynových iónov, atómových iónov, aktívnych skupín atď.
V zariadení PECVD s horúcim drôtom sú mimo nanášacej miestnosti stále nainštalované dve elektromagnetické cievky, ktoré spôsobujú, že tok elektrónov s vysokou hustotou sa počas pohybu smerom k anóde otáča, čím sa zvyšuje pravdepodobnosť kolízie a ionizácie medzi tokom elektrónov a reakčným plynom. Elektromagnetická cievka sa tiež môže zbiehať do oblúkového stĺpca, čím sa zvyšuje hustota plazmy v celej nanášacej komore. V oblúkovej plazme je hustota týchto aktívnych častíc vysoká, čo uľahčuje nanášanie diamantových filmov a iných vrstiev filmov na obrobok.
——Tento článok vydala spoločnosť Guangdong Zhenhua Technology,výrobca optických nanášacích strojov.
Čas uverejnenia: 5. mája 2023