ڌاتو نامياتي ڪيميائي بخارات جو جمع

ڌاتو نامياتي ڪيميائي بخارات جمع ڪرڻ (MOCVD)، گيس واري مواد جو ذريعو ڌاتو نامياتي مرڪب گئس آهي، ۽ جمع ڪرڻ جو بنيادي رد عمل CVD وانگر آهي.

1. MOCVD خام گئس

MOCVD لاءِ استعمال ٿيندڙ گيس جو ذريعو ڌاتو-نامياتي مرڪب (MOC) گيس آهي. ڌاتو-نامياتي مرڪب مستحڪم مرڪب آهن جيڪي نامياتي مادن کي ڌاتو سان ملائي پيدا ٿين ٿا. نامياتي مرڪب ۾ الڪائل، خوشبودار هوندو آهي. الڪائل ۾ ميٿائل، ايٿائل، پروپيل، ۽ بائيٽل شامل آهن. الڪائل ۾ ميٿائل، ايٿائل، پروپيل، ۽ بائيٽل شامل آهن. خوشبودار جنهن ۾ فينائل هومولوگس، ٽرائيميٿائل گيليم، [Ga(CH₃)₃]، ٽرائي ميٿائل ايلومينيم [Al(CH₃)₃] فلم پرت ۾ ٽن، پنج مرکبن ۾ مائڪرو اليڪٽرانڪس، آپٽو اليڪٽرانڪس، سيمي ڪنڊڪٽرز جي جمع ڪرڻ لاءِ، جهڙوڪ Ga(CH₃)₃ ۽ امونيا InGaN جي روشني واري پرت ۾ LED ليمپ جي ايپيٽيڪسيل واڌ تي سلڪون ويفر يا نيلم ۾ ٿي سگهي ٿو. LED ليمپ ٽنگسٽن تاپديپت کان وڌيڪ توانائي بچائيندڙ 90٪، 60٪ کان وڌيڪ توانائي بچائيندڙ فلوروسينٽ ليمپ آهن. LED ليمپ ٽنگسٽن تاپديپت کان وڌيڪ توانائي بچائيندڙ ليمپ کان 90٪ ۽ فلوروسينٽ ليمپ کان 60٪ وڌيڪ توانائي بچائيندڙ آهن. اڄڪلهه، هر قسم جا اسٽريٽ ليمپ، لائيٽنگ ليمپ ۽ آٽو موبائيل ليمپ بنيادي طور تي MOCVD پاران تيار ڪيل LED لائيٽ خارج ڪندڙ فلمون استعمال ڪندا آهن.

2. جمع ڪرڻ جو گرمي پد

نامياتي ڌاتو مرڪبن جي سڙڻ جو گرمي پد گهٽ آهي، ۽ جمع ڪرڻ جو گرمي پد HCVD کان گهٽ آهي. MOCVD پاران جمع ڪيل TiN جي جمع ڪرڻ جي درجه حرارت کي تقريباً 500 درجا گهٽائي سگهجي ٿو.

- هي مضمون شايع ٿيل آهيويڪيوم ڪوٽنگ مشين ٺاهيندڙگوانگڊونگ زينوا