گرم تار آرڪ وڌائيل پلازما ڪيميڪل وانپ جمع ڪرڻ واري ٽيڪنالاجي گرم تار آرڪ گن کي آرڪ پلازما خارج ڪرڻ لاءِ استعمال ڪري ٿي، جنهن کي مختصر طور تي گرم تار آرڪ PECVD ٽيڪنالاجي چيو ويندو آهي. هي ٽيڪنالاجي گرم تار آرڪ گن آئن ڪوٽنگ ٽيڪنالاجي سان ملندڙ جلندڙ آهي، پر فرق اهو آهي ته گرم تار آرڪ گن آئن ڪوٽنگ ذريعي حاصل ڪيل مضبوط فلم گرم تار آرڪ گن پاران خارج ٿيندڙ آرڪ لائيٽ اليڪٽران جي وهڪري کي استعمال ڪندي ڪروسيبل ۾ ڌاتو کي گرم ڪرڻ ۽ بخارات ۾ تبديل ڪرڻ لاءِ استعمال ڪري ٿي، جڏهن ته گرم تار آرڪ لائيٽ PECVD کي رد عمل گيسن سان ڀريو ويندو آهي، جهڙوڪ CH4 ۽ H2، جيڪي هيرن جي فلمن کي جمع ڪرڻ لاءِ استعمال ٿينديون آهن. گرم تار آرڪ گن پاران خارج ٿيندڙ اعليٰ کثافت واري آرڪ ڊسچارج ڪرنٽ تي ڀروسو ڪندي، رد عمل واري گئس آئن مختلف فعال ذرات حاصل ڪرڻ لاءِ پرجوش آهن، جن ۾ گئس آئن، ايٽمي آئن، فعال گروپ، وغيره شامل آهن.
گرم تار آرڪ PECVD ڊوائيس ۾، ٻه برقي مقناطيسي ڪوئل اڃا تائين ڪوٽنگ روم جي ٻاهران نصب ٿيل آهن، جنهن جي ڪري اينوڊ ڏانهن حرڪت دوران اعليٰ کثافت وارو اليڪٽران وهڪرو گردش ڪري ٿو، جنهن جي ڪري اليڪٽران جي وهڪري ۽ رد عمل گيس جي وچ ۾ ٽڪراءُ ۽ آئنائيزيشن جو امڪان وڌي ٿو. برقي مقناطيسي ڪوئل پوري جمع چيمبر جي پلازما کثافت کي وڌائڻ لاءِ هڪ آرڪ ڪالم ۾ به گڏ ٿي سگهي ٿو. آرڪ پلازما ۾، انهن فعال ذرڙن جي کثافت وڌيڪ هوندي آهي، جنهن جي ڪري هيرن جي فلمن ۽ ٻين فلم جي پرتن کي ورڪ پيس تي جمع ڪرڻ آسان ٿي ويندو آهي.
——هي مضمون گوانگ ڊونگ زينهوا ٽيڪنالاجي پاران جاري ڪيو ويو، هڪآپٽيڪل ڪوٽنگ مشينن جو ٺاهيندڙ.
پوسٽ جو وقت: مئي-05-2023