Gukoresha isohoka rya RF

1.Bifite akamaro ko gusohora no gusasa firime. Ihinduka ryihuse muri electrode polarite irashobora gukoreshwa mugutondekanya intego kugirango ibone firime. Niba ingufu za DC zikoreshwa mukuzunguruka no kubitsa firime, firime ya insulasiyo izabuza ion nziza kwinjira muri cathode, bigakora urwego rwiza rwo gukusanya ion, rukunda gusenyuka no gutwikwa. Nyuma yo gushira firime ya insuline kuri anode, electron zabujijwe kwinjira muri anode, bikavamo ibintu byo kubura anode. Iyo ukoresheje ingufu za RF kugirango ushiremo firime, kubera bitewe na polarite ihindagurika ya electrode, amafaranga meza yakusanyirijwe kuri cathode mugice cya mbere cyizunguruka azabangikanywa na electron mugice cya kabiri cyizunguruka, kandi electron zegeranijwe kuri anode zizaba zidafite aho zibogamiye na ion nziza. Inzira ihabanye mugice cya kabiri cyinzira irashobora gukuraho ikusanyirizo ryamafaranga kuri electrode, kandi inzira yo gusohora irashobora gukomeza mubisanzwe.

2.Ibihe byinshi bya electrode itanga kubogama. Mu gikoresho cya RF gifite imiterere ya electrode iringaniye, electrode yumurongo mwinshi mumuzunguruko ukoresheje capacitive guhuza guhuza ibyara voltage bias. Itandukaniro rinini hagati yumuvuduko wimuka wa electron n'umuvuduko wimuka wa ion mugusohora bituma electron zigera kumuvuduko mwinshi mugihe runaka, mugihe umuvuduko wa ion utinda utera kwirundanya. Umuvuduko mwinshi wa electrode uri mubushobozi bubi kuri buri cyiciro, bikavamo voltage itari nziza kuri terrain, ibyo bikaba ari ibintu byo kubogama kwa electrode yumurongo mwinshi.

Kubogama kwonyine guterwa na electrode ya RF isohora byihuta ion bombardment ya electrode ya cathode kugirango ikomeze isohore electronique ya kabiri kugirango ikomeze inzira yo gusohora, kandi kubogama kwayo bigira uruhare runini mukugabanuka kwa cathode mumashanyarazi ya DC. Nubwo ukoresheje amashanyarazi ya RF, isohoka rirashobora guhagarara neza bitewe na voltage yonyine yo kubogama itangwa na electrode yumurongo mwinshi igera kuri 500-1000V.

3.