1. Полезно для распыления и покрытия изоляционной пленки. Быстрое изменение полярности электрода может быть использовано для непосредственного распыления изолирующих мишеней для получения изолирующих пленок. Если для распыления и осаждения изоляционной пленки используется источник питания постоянного тока, изоляционная пленка будет блокировать попадание положительных ионов на катод, образуя слой накопления положительных ионов, который склонен к пробою и возгоранию. После осаждения изолирующей пленки на аноде электроны блокируются от попадания на анод, что приводит к явлению исчезновения анода. При использовании источника питания RF для покрытия изоляционной пленки из-за чередующейся полярности электродов положительные заряды, накопленные на катоде в первой половине цикла, будут нейтрализованы электронами во второй половине цикла, а электроны, накопленные на аноде, будут нейтрализованы положительными ионами. Противоположный процесс во второй половине цикла может устранить накопление зарядов на электроде, и процесс разряда может протекать нормально.
2.Высокочастотные электроды генерируют самосмещение. В ВЧ-устройстве с плоской структурой электродов высокочастотные электроды в схеме с использованием емкостной связи согласования генерируют напряжение самосмещения. Огромная разница между скоростью миграции электронов и скоростью миграции ионов в разряде позволяет электронам достигать большей скорости движения в заданное время, в то время как более медленная скорость ионов вызывает накопление. Высокочастотный электрод находится под отрицательным потенциалом большую часть каждого цикла, что приводит к отрицательному напряжению на местности, что является явлением самосмещения высокочастотного электрода.
Самосмещение, генерируемое электродом высокочастотного разряда, ускоряет ионную бомбардировку катодного электрода для непрерывной эмиссии вторичных электронов для поддержания процесса разряда, а самосмещение играет аналогичную роль катодному падению в тлеющем разряде постоянного тока. Хотя при использовании источника высокочастотного питания разряд может быть стабильным из-за напряжения самосмещения, генерируемого высокочастотным электродом, достигающего 500-1000 В.
3. Радиочастотный разряд играет важную роль в тлеющем разряде атмосферного давления и тлеющем разряде диэлектрического барьера, введенном позднее.
Время публикации: 21 июня 2023 г.