1. Benefic pentru pulverizarea și placarea peliculei izolatoare. Schimbarea rapidă a polarității electrodului poate fi utilizată pentru pulverizarea directă a țintelor izolatoare pentru a obține pelicule izolatoare. Dacă se utilizează o sursă de alimentare DC pentru pulverizarea și depunerea peliculei izolatoare, pelicula izolatoare va bloca ionii pozitivi să intre în catod, formând un strat de acumulare de ioni pozitivi, care este predispus la defectare și aprindere. După depunerea peliculei izolatoare pe anod, electronii sunt blocați să intre în anod, rezultând fenomenul de dispariție a anodului. Atunci când se utilizează o sursă de alimentare RF pentru a acoperi pelicula izolatoare, datorită polarității alternative a electrozilor, sarcinile pozitive acumulate pe catod în prima jumătate a ciclului vor fi neutralizate de electronii din a doua jumătate a ciclului, iar electronii acumulați pe anod vor fi neutralizați de ionii pozitivi. Procesul opus din a doua jumătate a ciclului poate elimina acumularea de sarcini pe electrod, iar procesul de descărcare poate continua normal.
2. Electrozii de înaltă frecvență generează autopolarizare. În dispozitivul RF cu o structură plată a electrodului, electrozii de înaltă frecvență din circuitul care utilizează adaptarea capacitivă a cuplajului generează tensiune de autopolarizare. Diferența enormă dintre viteza de migrare a electronilor și viteza de migrare a ionilor în timpul descărcării permite electronilor să atingă o viteză de mișcare mai mare la un moment dat, în timp ce viteza mai mică a ionilor provoacă acumularea. Electrodul de înaltă frecvență are un potențial negativ pentru cea mai mare parte a fiecărui ciclu, rezultând o tensiune negativă pe teren, acesta fiind fenomenul de autopolarizare a electrodului de înaltă frecvență.
Autopolarizarea generată de electrodul de descărcare RF accelerează bombardamentul cu ioni ai electrodului catodic pentru a emite continuu electroni secundari pentru a menține procesul de descărcare, iar autopolarizarea joacă un rol similar cu scăderea catodului în descărcarea luminiscentă în curent continuu. Deși se utilizează o sursă de alimentare RF, descărcarea poate fi stabilă datorită tensiunii de autopolarizare generate de electrodul de înaltă frecvență, care atinge 500-1000V.
3. Descărcarea de radiofrecvență joacă un rol important în descărcarea luminescentă la presiune atmosferică și descărcarea luminescentă prin barieră dielectrică, prezentate ulterior.
Data publicării: 21 iunie 2023