1. Benéfico para pulverização catódica e revestimento de filme isolante. A rápida mudança na polaridade do eletrodo pode ser usada para pulverizar diretamente alvos isolantes para obter filmes isolantes. Se uma fonte de alimentação CC for usada para pulverizar catódica e depositar filme isolante, o filme isolante bloqueará a entrada de íons positivos no cátodo, formando uma camada de acúmulo de íons positivos, propensa à quebra e ignição. Após a deposição de um filme isolante no ânodo, os elétrons são bloqueados de entrar no ânodo, resultando no fenômeno de desaparecimento do ânodo. Ao usar uma fonte de alimentação de RF para revestir o filme isolante, devido à polaridade alternada dos eletrodos, as cargas positivas acumuladas no cátodo na primeira metade do ciclo serão neutralizadas por elétrons na segunda metade do ciclo, e os elétrons acumulados no ânodo serão neutralizados por íons positivos. O processo oposto na segunda metade do ciclo pode eliminar o acúmulo de cargas no eletrodo, e o processo de descarga pode prosseguir normalmente.
2. Eletrodos de alta frequência geram autopolarização. Em dispositivos de RF com estrutura de eletrodo plano, os eletrodos de alta frequência no circuito, utilizando acoplamento capacitivo, geram tensão de autopolarização. A enorme diferença entre a velocidade de migração de elétrons e a velocidade de migração de íons na descarga permite que os elétrons atinjam uma velocidade de movimento maior em um determinado momento, enquanto a velocidade mais lenta dos íons causa acúmulo. O eletrodo de alta frequência está em um potencial negativo durante a maior parte de cada ciclo, resultando em uma tensão negativa no terreno, que é o fenômeno de autopolarização do eletrodo de alta frequência.
A autopolarização gerada pelo eletrodo de descarga de RF acelera o bombardeio iônico do eletrodo catódico, que emite continuamente elétrons secundários para manter o processo de descarga, e a autopolarização desempenha um papel semelhante à queda catódica na descarga luminescente CC. Embora seja utilizada uma fonte de alimentação de RF, a descarga pode ser estável devido à tensão de autopolarização gerada pelo eletrodo de alta frequência, que atinge 500-1000 V.
3. A descarga de radiofrequência desempenha um papel importante na descarga luminescente de pressão atmosférica e na descarga luminescente de barreira dielétrica introduzidas posteriormente.
Horário da publicação: 21/06/2023