د فلزي عضوي کیمیاوي بخار زیرمه کول

د فلزي عضوي کیمیاوي بخاراتو زیرمه (MOCVD)، د ګازي موادو سرچینه د فلزي عضوي مرکب ګاز دی، او د زیرمه کولو اساسي تعامل پروسه د CVD سره ورته ده.

۱. MOCVD خام ګاز

د MOCVD لپاره کارول شوی ګازي سرچینه د فلزي-عضوي مرکب (MOC) ګاز دی. فلزي-عضوي مرکبات هغه مستحکم مرکبات دي چې د عضوي موادو سره د فلزاتو سره یوځای کولو سره تولید کیږي. عضوي مرکبات الکیل، اروماتیک لري. الکیل میتیل، ایتیل، پروپیل، او بیوټیل شامل دي. الکیل میتیل، ایتیل، پروپیل، او بیوټیل شامل دي. خوشبویه په شمول د فینیل هومولوګونه، ټرای میتیل ګیلیم، [Ga(CH₃)₃]، ټرای میتیل المونیم [Al(CH₃)₃] د فلم طبقې په دریو، پنځو مرکباتو کې د مایکرو الیکترونیکونو، آپټو الیکترونیکونو، سیمیکمډکټرونو د جمع کولو لپاره، لکه Ga(CH₃)₃ او امونیا کولی شي د InGaN رڼا لرونکي طبقې کې د LED څراغونو د اپیټیکسیل ودې په سیلیکون ویفر یا نیلم کې وي. LED څراغونه د ټنګسټن تاپدیپت څراغونو څخه 90٪ ډیر انرژي سپموي، د 60٪ څخه ډیر انرژي سپموي فلوروسینټ څراغونه دي. LED څراغونه د ټنګسټن تاپدیپت څراغونو څخه 90٪ ډیر انرژي موثر دي او د فلوروسینټ څراغونو څخه 60٪ ډیر انرژي موثر دي. نن ورځ، د سړک څراغونه، د رڼا څراغونه او د موټرو څراغونه په اصل کې د MOCVD لخوا تولید شوي LED رڼا جذبونکي فلمونه کاروي.

۲. د زیرمو تودوخه

د عضوي فلزي مرکباتو د تجزیې تودوخه ټیټه ده، او د جمع کولو تودوخه د HCVD په پرتله ټیټه ده. د MOCVD لخوا جمع شوي د TiN جمع کولو تودوخه شاوخوا 500 درجو ته راټیټ کیدی شي.

- دا مقاله د لخوا خپره شوې دهد ویکیوم کوټینګ ماشین جوړونکیګوانګډونګ ژینوا