1. Korzystne dla rozpylania i galwanizacji folii izolacyjnej. Szybka zmiana biegunowości elektrody może być wykorzystana do bezpośredniego rozpylania celów izolacyjnych w celu uzyskania folii izolacyjnych. Jeśli źródło zasilania prądem stałym jest używane do rozpylania i osadzania folii izolacyjnej, folia izolacyjna zablokuje przedostawanie się jonów dodatnich do katody, tworząc warstwę akumulacji jonów dodatnich, która jest podatna na przebicie i zapłon. Po osadzeniu folii izolacyjnej na anodzie, elektrony są blokowane przed przedostawaniem się do anody, co powoduje zjawisko zaniku anody. Podczas stosowania źródła zasilania RF do powlekania folii izolacyjnej, ze względu na naprzemienną biegunowość elektrod, ładunki dodatnie zgromadzone na katodzie w pierwszej połowie cyklu zostaną zneutralizowane przez elektrony w drugiej połowie cyklu, a elektrony zgromadzone na anodzie zostaną zneutralizowane przez jony dodatnie. Przeciwny proces w drugiej połowie cyklu może wyeliminować gromadzenie się ładunków na elektrodzie, a proces rozładowania może przebiegać normalnie.
2. Elektrody o wysokiej częstotliwości generują samopolaryzację. W urządzeniu RF z płaską strukturą elektrody, elektrody o wysokiej częstotliwości w obwodzie wykorzystującym pojemnościowe dopasowanie sprzęgające generują napięcie samopolaryzacji. Ogromna różnica między prędkością migracji elektronów a prędkością migracji jonów w rozładowaniu umożliwia elektronom osiągnięcie większej prędkości ruchu w danym momencie, podczas gdy wolniejsza prędkość jonów powoduje akumulację. Elektroda o wysokiej częstotliwości ma ujemny potencjał przez większość każdego cyklu, co powoduje ujemne napięcie na terenie, co jest zjawiskiem samopolaryzacji elektrody o wysokiej częstotliwości.
Samopolaryzacja generowana przez elektrodę wyładowczą RF przyspiesza bombardowanie jonami elektrody katodowej, aby stale emitować wtórne elektrony w celu utrzymania procesu rozładowania, a samopolaryzacja odgrywa podobną rolę do spadku katody w wyładowaniu jarzeniowym DC. Chociaż używa się zasilacza RF, rozładowanie może być stabilne ze względu na napięcie samopolaryzacji generowane przez elektrodę o wysokiej częstotliwości osiągające 500-1000 V.
3. Wyładowanie o częstotliwości radiowej odgrywa ważną rolę w wyładowaniu jarzeniowym pod ciśnieniem atmosferycznym i wyładowaniu jarzeniowym z barierą dielektryczną, które zostały wprowadzone później.
Czas publikacji: 21-06-2023