ਧਾਤੂ ਜੈਵਿਕ ਰਸਾਇਣਕ ਭਾਫ਼ ਜਮ੍ਹਾ (MOCVD), ਗੈਸੀ ਸਮੱਗਰੀ ਦਾ ਸਰੋਤ ਧਾਤੂ ਜੈਵਿਕ ਮਿਸ਼ਰਣ ਗੈਸ ਹੈ, ਅਤੇ ਜਮ੍ਹਾ ਹੋਣ ਦੀ ਮੂਲ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ CVD ਦੇ ਸਮਾਨ ਹੈ।
1.MOCVD ਕੱਚੀ ਗੈਸ
MOCVD ਲਈ ਵਰਤਿਆ ਜਾਣ ਵਾਲਾ ਗੈਸੀ ਸਰੋਤ ਧਾਤੂ-ਜੈਵਿਕ ਮਿਸ਼ਰਣ (MOC) ਗੈਸ ਹੈ। ਧਾਤੂ-ਜੈਵਿਕ ਮਿਸ਼ਰਣ ਸਥਿਰ ਮਿਸ਼ਰਣ ਹਨ ਜੋ ਧਾਤਾਂ ਨਾਲ ਜੈਵਿਕ ਪਦਾਰਥਾਂ ਨੂੰ ਜੋੜ ਕੇ ਤਿਆਰ ਕੀਤੇ ਜਾਂਦੇ ਹਨ। ਜੈਵਿਕ ਮਿਸ਼ਰਣਾਂ ਵਿੱਚ ਅਲਕਾਈਲ, ਖੁਸ਼ਬੂਦਾਰ ਹੁੰਦਾ ਹੈ। ਅਲਕਾਈਲ ਵਿੱਚ ਮਿਥਾਈਲ, ਈਥਾਈਲ, ਪ੍ਰੋਪਾਈਲ ਅਤੇ ਬਿਊਟਾਇਲ ਸ਼ਾਮਲ ਹੁੰਦੇ ਹਨ। ਅਲਕਾਈਲ ਵਿੱਚ ਮਿਥਾਈਲ, ਈਥਾਈਲ, ਪ੍ਰੋਪਾਈਲ ਅਤੇ ਬਿਊਟਾਇਲ ਸ਼ਾਮਲ ਹੁੰਦੇ ਹਨ। ਖੁਸ਼ਬੂਦਾਰ ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਫਿਨਾਇਲ ਹੋਮੋਲੋਗ, ਟ੍ਰਾਈਮੇਥਾਈਲ ਗੈਲਿਅਮ, [Ga(CH3)3], ਟ੍ਰਾਈਮੇਥਾਈਲ ਐਲੂਮੀਨੀਅਮ [Al(CH3)3] ਫਿਲਮ ਪਰਤ ਵਿੱਚ ਤਿੰਨ, ਪੰਜ ਮਿਸ਼ਰਣਾਂ ਵਿੱਚ ਮਾਈਕ੍ਰੋਇਲੈਕਟ੍ਰੋਨਿਕਸ, ਆਪਟੋਇਲੈਕਟ੍ਰੋਨਿਕਸ, ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰਾਂ ਦੇ ਜਮ੍ਹਾਂ ਹੋਣ ਲਈ, ਜਿਵੇਂ ਕਿ Ga(CH3)3 ਅਤੇ ਅਮੋਨੀਆ InGaN luminescent ਪਰਤ ਵਿੱਚ LED ਲੈਂਪਾਂ ਦੇ ਐਪੀਟੈਕਸੀਅਲ ਵਾਧੇ 'ਤੇ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਜਾਂ ਨੀਲਮ ਵਿੱਚ ਹੋ ਸਕਦਾ ਹੈ। LED ਲੈਂਪ ਟੰਗਸਟਨ ਇਨਕੈਂਡੇਸੈਂਟ 90% ਤੋਂ ਵੱਧ ਊਰਜਾ-ਬਚਤ ਕਰਨ ਵਾਲੇ, 60% ਤੋਂ ਵੱਧ ਊਰਜਾ-ਬਚਤ ਫਲੋਰੋਸੈਂਟ ਲੈਂਪ ਹਨ। LED ਲੈਂਪ ਟੰਗਸਟਨ ਇਨਕੈਂਡੇਸੈਂਟ ਲੈਂਪਾਂ ਨਾਲੋਂ 90% ਵਧੇਰੇ ਊਰਜਾ ਕੁਸ਼ਲ ਹਨ ਅਤੇ ਫਲੋਰੋਸੈਂਟ ਲੈਂਪਾਂ ਨਾਲੋਂ 60% ਵਧੇਰੇ ਊਰਜਾ ਕੁਸ਼ਲ ਹਨ। ਅੱਜਕੱਲ੍ਹ, ਹਰ ਕਿਸਮ ਦੇ ਸਟ੍ਰੀਟ ਲੈਂਪ, ਲਾਈਟਿੰਗ ਲੈਂਪ ਅਤੇ ਆਟੋਮੋਬਾਈਲ ਲੈਂਪ ਮੂਲ ਰੂਪ ਵਿੱਚ MOCVD ਦੁਆਰਾ ਤਿਆਰ ਕੀਤੀਆਂ LED ਲਾਈਟ-ਐਮੀਟਿੰਗ ਫਿਲਮਾਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਦੇ ਹਨ।
2. ਜਮ੍ਹਾ ਤਾਪਮਾਨ
ਜੈਵਿਕ ਧਾਤ ਦੇ ਮਿਸ਼ਰਣਾਂ ਦਾ ਸੜਨ ਦਾ ਤਾਪਮਾਨ ਘੱਟ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਜਮ੍ਹਾ ਤਾਪਮਾਨ HCVD ਨਾਲੋਂ ਘੱਟ ਹੁੰਦਾ ਹੈ। MOCVD ਦੁਆਰਾ ਜਮ੍ਹਾ ਕੀਤੇ TiN ਦੇ ਜਮ੍ਹਾ ਤਾਪਮਾਨ ਨੂੰ ਲਗਭਗ 500 ਡਿਗਰੀ ਤੱਕ ਘਟਾਇਆ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ।
-ਇਹ ਲੇਖ ਇਸ ਦੁਆਰਾ ਪ੍ਰਕਾਸ਼ਿਤ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਹੈਵੈਕਿਊਮ ਕੋਟਿੰਗ ਮਸ਼ੀਨ ਨਿਰਮਾਤਾਗੁਆਂਗਡੋਂਗ ਜ਼ੇਨਹੂਆ
ਪੋਸਟ ਸਮਾਂ: ਅਕਤੂਬਰ-20-2023