ଧାତୁ ଜୈବିକ ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା

ଧାତୁ ଜୈବ ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା ​​(MOCVD), ଗ୍ୟାସୀୟ ସାମଗ୍ରୀର ଉତ୍ସ ହେଉଛି ଧାତୁ ଜୈବ ଯୌଗିକ ଗ୍ୟାସ, ଏବଂ ଜମାର ମୌଳିକ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ପ୍ରକ୍ରିୟା CVD ସହିତ ସମାନ।

୧.MOCVD କଞ୍ଚା ଗ୍ୟାସ୍

MOCVD ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ଗ୍ୟାସୀୟ ଉତ୍ସ ହେଉଛି ଧାତୁ-ଜୈବ ଯୌଗିକ (MOC) ଗ୍ୟାସ। ଧାତୁ-ଜୈବ ଯୌଗିକ ହେଉଛି ଧାତୁ ସହିତ ଜୈବ ପଦାର୍ଥକୁ ମିଶ୍ରଣ କରି ଉତ୍ପାଦିତ ସ୍ଥିର ଯୌଗିକ। ଜୈବ ଯୌଗିକରେ ଆଲକାଇଲ, ସୁଗନ୍ଧିତ। ଆଲକାଇଲରେ ମିଥାଇଲ, ଇଥାଇଲ, ପ୍ରୋପିଲ ଏବଂ ବ୍ୟୁଟାଇଲ ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ। ଆଲକାଇଲରେ ମିଥାଇଲ, ଇଥାଇଲ, ପ୍ରୋପିଲ ଏବଂ ବ୍ୟୁଟାଇଲ ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ। ଫିନାଇଲ ହୋମୋଲୋଗ, ଟ୍ରାଇମିଥାଇଲ ଗାଲିୟମ୍, [Ga(CH)] ସମେତ ସୁଗନ୍ଧିତ।₃)₃], ଟ୍ରାଇମିଥାଇଲ୍ ଆଲୁମିନିୟମ୍ [Al(CH₃)₃] ଫିଲ୍ମ ସ୍ତରର ତିନି, ପାଞ୍ଚଟି ଯୌଗିକରେ ମାଇକ୍ରୋଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ସ, ଅପ୍ଟୋଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ସ, ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହକଙ୍କ ଜମା ପାଇଁ, ଯେପରିକି Ga(CH₃)₃ ଏବଂ InGaN ଲ୍ୟୁମିନେସେଣ୍ଟ ସ୍ତରର LED ଲ୍ୟାମ୍ପର ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ବୃଦ୍ଧି ଉପରେ ଆମୋନିଆ ସିଲିକନ୍ ୱେଫର କିମ୍ବା ନୀଳମଣିରେ ରହିପାରେ। LED ଲ୍ୟାମ୍ପଗୁଡ଼ିକ ଟଙ୍ଗଷ୍ଟନ୍ ଇନକାଣ୍ଡିସେଣ୍ଟ 90% ଠାରୁ ଅଧିକ ଶକ୍ତି-ସଞ୍ଚୟକାରୀ, 60% ରୁ ଅଧିକ ଶକ୍ତି-ସଞ୍ଚୟକାରୀ ଫ୍ଲୋରୋସେଣ୍ଟ ଲ୍ୟାମ୍ପ। LED ଲ୍ୟାମ୍ପଗୁଡ଼ିକ ଟଙ୍ଗଷ୍ଟନ୍ ଇନକାଣ୍ଡିସେଣ୍ଟ ଲ୍ୟାମ୍ପ ଅପେକ୍ଷା 90% ଅଧିକ ଶକ୍ତି ଦକ୍ଷ ଏବଂ ଫ୍ଲୋରୋସେଣ୍ଟ ଲ୍ୟାମ୍ପ ଅପେକ୍ଷା 60% ଅଧିକ ଶକ୍ତି ଦକ୍ଷ। ଆଜିକାଲି, ସମସ୍ତ ପ୍ରକାରର ଷ୍ଟ୍ରିଟ୍ ଲ୍ୟାମ୍ପ, ଆଲୋକ ଲ୍ୟାମ୍ପ ଏବଂ ଅଟୋମୋବାଇଲ୍ ଲ୍ୟାମ୍ପଗୁଡ଼ିକ ମୂଳତଃ MOCVD ଦ୍ୱାରା ଉତ୍ପାଦିତ LED ଆଲୋକ-ନିର୍ଗମନ ଫିଲ୍ମ ବ୍ୟବହାର କରନ୍ତି।

୨. ଜମା ତାପମାତ୍ରା

ଜୈବ ଧାତୁ ଯୌଗିକଗୁଡ଼ିକର ବିଘଟନ ତାପମାତ୍ରା କମ୍ ଥାଏ, ଏବଂ ଜମା ତାପମାତ୍ରା HCVD ଅପେକ୍ଷା କମ୍ ଥାଏ। MOCVD ଦ୍ୱାରା ଜମା ହୋଇଥିବା TiN ର ଜମା ତାପମାତ୍ରା ପ୍ରାୟ 500 ଡିଗ୍ରୀ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ହ୍ରାସ କରାଯାଇପାରିବ।

–ଏହି ଲେଖାଟି ପ୍ରକାଶିତ ହୋଇଛିଭାକ୍ୟୁମ୍ କୋଟିଂ ମେସିନ୍ ନିର୍ମାତାଗୁଆଙ୍ଗଡଙ୍ଗ ଜେନହୁଆ |